Всгсоюзная -т-игф •. •4мурймi л й г rtu s а«” s “dhb. woteka
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 312426
Авторы: Иностранец, Иностранна
Текст
ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советокик Социалистические РеспубликК ПАТЕНТУ Заявлено 02,Х 1.1966 ( 1110953/1156026/22 С 23 с 13/О риоритет 17.Х 11.1965,21744, Бельги Комитет со деламвобсетеиий и сткры К 621.793.14.002.5 (088.8) бликовано 19 Х 11.1971, Бюллетень2 сои Совете МииистСССР 1 Дата опубликования описания 18.Х.1971 торобретени Иностранец Мишель БлокИностранная фирма ммюноте Еропеен лЕнержи Атомик (Евратом)эаявитель ЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУ УСТРОЙСТВО Д редмет изобретен тии в вару, внутри и трубо 1 ееся тем, ительностн подложке, ки индукемого маой распоЗависимый от патента Ю Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположены электроды, 5 и трубопровод для подачи газа.Предложенное устройство отличается от известного тем, что электроды выполнены в виде катушки индуктивности, изготовленной из напыляемого материала, на продолжении 10 оси которой расположен трубопровод для подачи газа. Это повышает производительность труда и увеличивает адгезию пленок к подложке.На чертеже изображено предложенное уст ройство, общий вид.Устройство включает вакуумную камеру 1, внутри которой расположены электроды, выполненные в виде катушки индуктивности 2, изготовленной из напыляемого материала, на 20 продолжении оси которой расположен трубопровод 3 для подачи газа.Напряжение высокой частоты подается с генератора 4 через повышающий трансформатор б на катушку индуктивности 2. Частоту 25 генератора 4 можно изменять емкостью 6 в пределах от 2 до 30 мги. Генератор 7 постоянного тока высокого напряжения подключен своим отрицательным полюсом к покрываемой детали 8, а положительным полюсом - к стенке вакуумной камеры 1.Под влиянием электромагнитного поля высокой частоты, создаваемого катушкой индуктивности, газ, подаваемый в центр катушки индуктивности 2 по трубопроводу 8 ионизп. руется и образует плазму. Возбужденные частицы последней выбрасываются к катушке индуктивности и вырывают из нее молекулы вещества, из которого она изготовлена, распространяясь по всему объему камеры 1. В результате на деталь 8 наносится покрытие. Устройство для нанесения покрькууме, содержащее вакуумную камекоторой расположены электроды,провод для подачи газа, отличаючто, с целью повышения производи увеличения адгезии пленок кэлектроды выполнены в виде катуштивности, изготовленной из напылтериала, на продолжении оси котоложен трубопровод для подачи газа312426 Составитель Е. Р. Алешинактор Т. 3, Орловская Техред Е. Борисова Корректор О. С, Зайцев Типографн Сапунова,Заказ 2767/17 Изд.1162 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССРМосква, Ж-ЗБ, Раушская наб д. 4/5
СмотретьЗаявка
1156026
Иностранец Мишель Блок, Иностранна фирма Коммюноте Еропеен Енержи Атомик Евратом
МПК / Метки
МПК: C23C 14/32
Метки: dhb, woteka, а, всгсоюзная, т-игф, •4мурймi
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-312426-vsgsoyuznaya-t-igf-4murjjmi-l-jj-g-rtu-s-a-s-dhb-woteka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Всгсоюзная -т-игф •. •4мурймi л й г rtu s а«” s “dhb. woteka</a>
Предыдущий патент: Способ получения ячеистых полиуретанов
Следующий патент: Подшипники для отжимных валов отделочных машин текстильного производства
Случайный патент: Система зажигания