Материал для пленочных резистивных датчиков

Номер патента: 298839

Авторы: Аптерман, Иванова, Соколика, Фиалковска

ZIP архив

Текст

298839 Союз Совтеки Собиалиотичвоки РеонтбликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 26.Х.1969 (ЛЪ 1367726/18-10) МПК 6 01 с 7/10 присоединением заявкиПриорите котзитвт но делат гвбрвтвний и открытий ври Совете Миниотров СССР,111,1971. Бюллетень11 публиковано та опубликования описания 12 Х.1971. Авторыизобретения Аптерман, Р. М. Иванова, В. А, Соколина и Р. П, фиалковска Заявите,ТЕРИАЛ ДЛ ЕНОЧНЫХ РЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКО ТЕМПЕРАТУРЫ что электричесие и, следоические свойства полупроалов существенным обра 1Предлагаемое изобретение может быть использовано для изготовления пленочных термометров сопротивления для низких температур.На основе этого материала, нанесенного наповерхность стекла или других диэлектриков,могут бысть сконструированы высокочувсгвительные, малоинерционные, виброустойчивыедатчики температуры, которые найдут широкое применение при решении научных и технических задач, связанных с использованиемнизких температур.Особую задачу низкотемпературной термометрии представляет регистрация быстрых изменений температуры, контроль за кинематикой различных тепловых процессов, Эта зада.ча может быть решена с помощью малоинерционных датчиков температуры. Такие термометры могут быть изготовлены на основе термометрических веществ в виде тонких пленок.Были исследованы разнотолщинные пленкиБп 02, свободные от специально вводимых примесей, При охлаждении до гелиевых температур сопротивление пленок возрастает. Воспроизводимость сопротивления пленок после отогрева до комнатной температуры составляет1%.Известно также,вательно, термометрводниковых матери зом зависят от ссей.Цель изобретения - разработка материала,обеспечивающего наилучшие его термометри ческие свойства, что достигается применениемдвуокиси олова, легированного сурьмой в количестве до 60 мол. % для изготовления пленочных резистивных датчиков температуры.Пленки получались известным методом 10 пульверизации спиртовых растворов хлоридаолова и хлорида сурьмы. Состав пленки вар:- ируется путем введения различного количества сурьмы в пленку и изменением температуры нанесения пленки от 550 до 750. Пленки та ких составов получались ранее, однако, использовались они только как материал для стабильных резисторов.Материал по данному изобретению обладает рядом ценных качеств:20 хорошими термометрическими свойствамипри низких температурах (1,5 - 300 К) обладают пленки системы ЯпОз с концентрацией ЯЬ 20 з, лежащей в пределах 18 - 60 мол. % (концентрация примеси в пленке определяется 25 расчетным путем на основании концентрациисурьмы в пленкообразующем растворе, исходя из предположения о полноте реакции пленкообразования);оптимальными термометрическими свойства ми обладают пленки; легированные 20 мол. 0 о298839 Предмет изобретения Составитель И. И. Дубсои Техред Е. Борисова Корректор О. С. Зайцева Редактор В. П. Новоселова Заказ 1248/14 Изд,554 Тираж 473 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 БЬ 20 з Их ТКС 4,2 К равняется (7 - 11) 10-а град - 1, стабильность при 4,2 К после многократных отогревов до комнатной температуры и термоударов от 4,2 до 90 К равна -1- 0,1 К. Удельная электропроводность этих пленок при комнатной температуре равна о 300 К 100 ом-/см, а при 4,2 К10 ом/см, что позволяет изготовить датчики температуры с сопротивлением 10 з ом при комнатной температуре и 10 а ом при гелиевых температурах. Окиснооловянные пленки, легированныесурьмой обладают высокой химической стойкостью, влагостойкостью, высокой адгезией к поверхности подложки.5 Применение двуокиси олова, легированногосурьмой в количестве до 60 мол. % в качестве 10 материала для изготовления пленочных резистивных датчиков температуры.

Смотреть

Заявка

1367726

Е. Б. Аптерман, Р. М. Иванова, В. А. Соколика, Р. П. Фиалковска

МПК / Метки

МПК: G01K 7/10

Метки: датчиков, материал, пленочных, резистивных

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-298839-material-dlya-plenochnykh-rezistivnykh-datchikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Материал для пленочных резистивных датчиков</a>

Похожие патенты