Бункерное устройство для вакуумных установок

Номер патента: 281102

Авторы: Гаврилов, Федотов

ZIP архив

Текст

281102 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советскик Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЮе 1272157/26 аявлено 30.1 Х,19 л. 48 Ь, 13/О рисоединением заявкиЗс 13/ОО П Приоритет Комитет пазабретений и лам ытий.1970. Бюллетенья описания 19.Х 1.197 К 621,793.14(088 уоликовано при Совете м СССРист лата опубликован Авторыизобретенит. Федот Заявител НКЕРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВО от ко 8. УстИзобретение предназначено для вакуумных установок и может быть использовано в электронной и радиопромышленности при изготовлении схем методом пленочной технологии.Известны вакуумные установки, в которых в качестве бункеров применяются диски, Однако производительность таких установок недостаточна.Целью изобретения является повышение производительности вакуумных установок и осуществление непрерывности процесса напыления как однослойного, так и многослойного.Эта цель достигается тем, что бункерное устройство выполнено в виде двух заполняемых подложкодержателями кассет, соединенных между собой верхнихт и нииним трактами.На чертеже схематически изображено описываемое устройство в двух проекциях.Бункерное устройство состоит из кассет 1, 2, соединенных между собой верхним т и нижним 4 трактами для перемещения подложкодержателей с подложками из одной кассеты в другую. Каждая кассета имеет механизм б горизонтального перемещения и механизм б вертикального перемещения подложкодержателей. В кассетах установлены отсекатели 7, на которых, находится стопа подложкодержателей в момент их горизонтального перемещения. Размеры кассет зависят от объема ват куумного колпака, а длина трактов - личества и конструкции испарителейройство снабжено нагревателями 9, расположенными по пути движения подложек.5 Бункерное устройство работает следующимобразом.Кассеты, верхний и нижний тракт заполняют подложкодержателями с заторепленнызти на них подложками за исключением нижнего 10 места в кассете 2 и верхнего в кассете 1, принеобходимости прогревают, а затем производят напыление на подложки, находящиеся на нихкнем тракте. Механизмы горизонтального перемещения, двигаясь одновременно, произ водят смену подложек. При этом нижнее место в кассете 2 заполняется, а верхнее освобождается, а в кассете 1 наоборот освобождается нижнее и заполняется верхнее, Во время напыления механизм б вертикального пе ремещения, двигаясь вверх в кассете 2, захватывает подложкодержатель и укладывает его на отсекатели, а при движении вверх в кассете 1 проходит освободившееся место и снимает подложкодержатель с отсекателей. При 25 движении вниз в кассете 1 этот механизм укладьтвает снятую подложку на тракт, а вся стопа подложкодержателей задерживается отсекателями. В кассете 2 механизм б, опускаясь, занимает исходное положение. Затем ЗО цикл работы устройства повторяется.281102 4 Предмет изобретения Бункерное устройство для вакуумных установок, содержащее кассеты с механизмами перемещения подложкодержателей, отличаюиееая тем, что, с целью повышения производительности вакуумных установок и осущеСоставитель Е. Хвощеваехред А, А. Камышникова Корректор О. С, Зайцева Редактор В орисо Тираж 480 Подписпо зобретенпй и открытий при Совсге Министров СССР , Ж, Ралпская паб., д. 4,5 Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 3395,2 ЦБИИПИ Комитета по делам Москствления непрерывности процесса напыления как однослойного, так и многослойного, бункерное устройство выполнено в виде двух заполняемых подложкодержателями кассет, соединенных между собой посредством верхнего и нижнего трактов,

Смотреть

Заявка

1272157

Г. Н. Гаврилов, Л. И. Федотов

МПК / Метки

МПК: C23C 14/00

Метки: бункерное, вакуумных, установок

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-281102-bunkernoe-ustrojjstvo-dlya-vakuumnykh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Бункерное устройство для вакуумных установок</a>

Похожие патенты