Способ изготовления ферромагнитных пленок с повышенным значением коэрцитивной силы

Союз Соеетеииз Совиелиотичеоииз РеоиублиеЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 28.Ч 11,1969 ( 1351902/26-9)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 21,Ч 111.1970. Бюллетеньл. 21 ат, 37/04 МПК 6 11 с 504УДК 538,245(088,8) Комитет оо делетз изобретений и открыти ори Совете Миниотрое СССРния 16.Х 1.19 ата опубликовани Авторыизобретения М. Галанский, В. В, Звягинцев Г. А, Михайлов Институт кибернетики АН Украинской ССР Заявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК С ПОВЫШЕННЫМ ЗНАЧЕНИЕМ КОЭРЦИТИВНОЙ СИДЫ Изобретение относится к области технологии изготовления тонких магнитных пленокдля запоминающих устройств вычислительныхмашин,Известны способы изготовления ферромагнитных пленок с повышенным значением коэрцитивной силы, основанный на методе увеличения коэрцитивной силы путем создания шероховатости подложки.Однако известный способ не уменьшает 10трудоемкость процесса изготовления пленок,не обеспечивает воспроизводимость их магнитных свойств и не позволяет контролироватьизменение их магнитных свойств в процессеизготовления. 15С целью повышения производительности,улучшения воспроизводимости и обеспечениявозможности контроля магнитных параметровпленок в процессе их изготовления по предлагаемому способу поверхность магнитных 20пленок после напыления подвергают селективному химическому травлению, не приводящему к изменению толщины магнитных пленок.Предлагаемый способ осуществляется следующим образом. 25Соответствующий ферромагнитный материал, составляющий основу тонкой магнитнойпленки, напыляют в вакууме на диэлектрические или металлические подложки. Температурный режим и температуру подложек под- ЗО бирают такими, чтобы магнитные пленки получались с наиболее приемлемыми параметрами, в частности, с минимальной амплитудой и угловой дисперсией анизотропии.Величина коэрцитивной силы, соответствующая температуре подложки 300 - 330 С, недостаточна для обеспечения надежной работоспособности магнитопленочного элемента, поэтому пленки после напыления и охлаждения до комнатной температуры извлекают из вакуумной камеры, производят измерение нх магнитных параметров и затем помещают в ванну с химическим раствором для проведения операции химического травления поверхности.Поскольку магнитные пленки имеют поли- кристаллическое строение, то повышение коэрцитивной силы происходит за счет избирательного локального травления очень малых по площади участков поверхности пленки, занимаемых границами кристаллитов и различного рода включениями, В результате этого общая толщина пленки остается практически неизменной, что существенно для получения необходимых эксплуатационных характеристик.Зависимость коэрцитивной силы от неоднородностей толщины пленок приближенно описывается выражением Л, =СО - з, где Н, - коэрцитивная сила, С - константа, характе278764 Составитель Н, Степанов Редактор Т. И, Морозова Корректор Л. В. Юшина Заказ 3321/14 Тираж 480 ПодписноеЦПИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Я(-35, Раунскан наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 рнзующая толщину плевки, В - средняя толщина пленки.Для травления используют 1 ооо-ный раствор серной кислоты, в который непосредственно перед употреблением вводят 2% натриевой соли изобутилнафталинсульфокислоты.В процессе травления производится периодический контроль за изменением магнитных свойств пленки.При достижении требуемого значения коэрцитивной силы процесс травления прекращают и пленки промывают в растворе аммиака. Весь цикл с момента первого измерения магнитных свойств пленок до момента получения заданных значений коэрцитивной силы составляет 1 - 2 мин.Предел, до которого можно увеличивать коэрцитивную силу, определяется величиной угловой дисперсии анизотропии, которая мо. жет также изменяться в сторону увеличения.При повышении коэрцитивной силы вплоть до значений, равных полю анизотропин пленки, величина угловой дисперсии анизотропии в первом приближении остается неизменной.Так, например, для магнитных пермаллоевых пленок толщиной 1000 - 1200 А, характеризуемых величиной коэрцитивной силы 1,б - 5 1,7 э, увеличение коэрцитивной силы до 3,0 -3,3 э сопровождается всего лишь 10%-ным увеличением угловой дисперсии без изменения толщины магнитных пленок.Предмет изобретения 10Способ изготовления ферромагнитных пленок с повышенным значением,коэрцитивной силы, основанный на вакуумном напылении ферромагнитного материала в ориентирующем 15 магнитном поле на подложку, отличающийсятем, что, с целью повышения производитель ности, улучшения воспроизводимости и обес.печения возможности контроля магнитных параметров пленок в процессе изготовления, 20 поверхность магнитных пленок после напыления подвергают селективному химическому травлению, не приводящему к изменению толщины магнитных пленок.