Интерференционный прибор для измерения малых

ОПИСАНИЕ ИЗОЫ ЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(088.8) рите Комитет по дела аооретеиий и аткрытипри Совете МинистровСССР бликовано 24.Ч 1,1970. Бюллетень2 Дата опубликования описания 28.1 Х.19 Авторизобретени Ш. Эци аявитель 1 ПЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙИзвестен интер ференционный прибор для измерения малых перемещений, содержащий коллиматор, состоящий из источника света, конденсора, диафрагмы и объектива, зеркала, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива и зеркала, пнтерферометр, состоящий из зеркал и установленный в ходе световых лучей между объективами коллиматора и устройства для возвращения лучей, фотоэлектрическое устройство и электронный блок.Предлагаемый прибор отличается от известного тем, что он снабжен дополнительным зеркалом, выполненным в виде посеребренной пластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне, и установленным в ходе световых лучей между объективом и дна фрагмой коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез пластинки, а в качестве интерферометра использован клиновой многолучевой интерферометр.Это повышает точность измерений,На чертеже изображена схема описываемого прибора.Интерференционный прибор содержит коллиматор, состоящий из источника света 1, конденсора 2, диафрагмы 8 и объектива 4, а также зеркала 5, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива б и зеркала 7, интерферометр, состоящий из зеркал 8 и 9 и установленный в ходе световых лучей между объективами коллиматора и уст- Б ройства для возвращения световых лучей, фотоэлектрическое устройство, включающее фотопреобразователь 10, пьезоэлемент 11, блоки 12 и 18 питания пьезоэлемента, цифровой вольтметр 14, индикатор 15, и электронный 10 блок 1 б.Дополнительное зеркало 5 выполнено в виде посеребренной пластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне, Зерка 1 Б ло установлено в ходе световых лучей междуобъективом 4 и диафрагмой 8 коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез пластинки. В качестве интерферометра используется клиновой 20 многолучевой интерферометр (8 и 9).При подаче напряжения от блока 12 пьезоэлемент 11 приводится в колебательное состояние с амплитудой, составляющей небольшую долю длины волны света, Подавая 25 на пьезоэлемент 11 напряжение постоянноготока от блока И, можно осуществлять смещение зеркала 9. Сигнал фотопреобразователя 10 принимается блоком 1 б, на выходе которого производится регистрация сигнала индикато- ЗО ром. При перемещении зеркала 8 на расстоя274373 состоящий из источника света, конденсора, диафрагмы и объектива, зеркала, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива и зеркала, интерферометр, со стоящий из зеркал и установленный в ходесветовых лучей между объективами коллиматора и устройства для возвращения лучей, фотоэлектрическое устройство и электронный блок, отличающийся тем, что, с целью повы щения точности измерения, он снабжен дополнительным зеркалом, выполненным в виде посеребренной пластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне, и уста новленным в ходе световых лучей между объективом и диафрагмой коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез пластинки, а в качестве интерферометра использован клиновой много лучевой интерферометр,ния, кратные половине длины волны света, происходит переход стрелки индикатора через нуль.Перед началом измерения выставляется нулевое состояние интерферометра. Затем при движении зеркала 8 наблюдатель считает число переходов через нуль. После прекращения движения зеркала 8 зеркало 9 перемещают к зеркалу 8 до первого перехода стрелки индикатора через нуль, Величину этого перемещения считывают со шкалы вольтметра Измеряемое перемещение получают, перемножив число переходов через нуль на четверть длины волны света и прибавив . показание вольтметра. Интерференционный прибор для измерениямалых перемещений, содержащий коллиматор,едактор Т. Фадеева Корректор Л. А. Царькова обазов оставитель Заказ 2634/17 Тир ЦНИИПИ Комитета пс делам изобретений Москва, Ж, Ра 1Типография, пр. Сапунова Предмет изобретения 480 Подписное открытий при Совете Минисгров СССР кап наб д. 45