Установка для зондовых измерений
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 274232
Текст
К АВТОРСКОМУ СВНДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидстельстваЗаявлено 26.11.1969. (Лое 1315237/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 24,Ч 1.1970. Бюллетень2 л. 21 д, 11/ МПК Н 01 5/02 Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Министров СССР,Ф,М виВ,енков, И Богданов НТН 0. (0 И 1 ТЕХНО 5 Иь,Я вител СТАНО ВКА ДОВЫХ ИЗМЕРЕНИ На основании 1 установлены стойка 2, в которой размещена электрическая часть, микроскоп 8, механизм щаговых перемещений , манипулятор 5, предметный столик б и полукольца 7 и 9, на которых закреплены зондовые 9 и маркировочные 10 головдсдд, Полуко:дьна одним концом шарнирно без люфта соединены со стойкой 2, а другим упираются в жесткий неподвнкный чдор 11 и прижимаются к нему пружиной 12.Установка работает следующим образом, Для загрузки контрслируемой пластины полукольца 7 н 8 с зондовыми 9 н маркировочными 10 головками разводят на угол а, полностью освобождая предметный столик б. Пластину кладут на столик и закрепляют вакуумом. Манипулятором 5 ее ориентируют по сетке микроскопа . После этого полукольца с головками сводят и прижимают пружиной 2 к упору 11, после чего проводят замеры пластины.По окончании замеров полукольца разводят н фиксируют пружиной 2, выключают вакуум н снимают пластину с предметного столика. Предмет нза бр етенп я Установка дляпроводниковых п О низма шаговыхОписываемое изобретение относится к технологическому оборудованию электроннойпромышленности, а именно - к оборудованиюдля зондового контроля и измерений интегральных схем, диодов и транзисторов на неразрезанной пластине,Известны установки для зондовых измерений, содержащие механизм шаговых перемещений, манипулятор, предметный столик,кронштейн с головками (зондовьдми и маркировочными) и оптическую систему.К недостаткам установок относятся большой угол отвода кронштейна с головками приустановке и съеме измеряемых пластин, ведущий к усложнению конструкции и увеличениюгабаритов; необходимость применения кдикроскопа с большим фокусньдед расстоянием; затрудненность регулировки головок, а такжеограниченность их количества.С целью увеличения количества зондовыхи маркировочных головок, облегчения и ускорения установки и ориентации пластин иуменьшения габаритов установки, а такжеприменения микроскопа с малым фокд;сньдмрасстоянием устройство крепления головоквыполнено в виде двух разводных нолуколец,одним концом шарнирно соединенных со стойкой, а другим упирающихся в жесткий неподвижный упор.На чертеже изображена схема устройства. ондовых измерении полу- боров, состоящая из мехаремещений, манипулятора,Заказ 2567/17ЦИИИГ 1 И Комитета по Подписное те Министров СССРТипография, пр. Сапунова оптической системы, предметного столика и устройства крепления зондовых и маркировочных головок, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и точности измерений, устройство крепления зондовых и маркировочных головок выполнено ввиде двух разводных, фиксируемых по жесткому упору, полуколец,
СмотретьЗаявка
1315237
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-274232-ustanovka-dlya-zondovykh-izmerenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Установка для зондовых измерений</a>
Предыдущий патент: Тепловое реле
Следующий патент: Способ измерения теплового сопротивления полупроводниковых приборов
Случайный патент: Механизм мамырина для воспроизведения спирали архимеда