ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 266560ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Соаз Советских Социалистических Республик,82 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРСПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА СУШКИ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТОВИзобретение относится к ооласти контроля технологических процессов в производстве полупроводниковых приборов, а именно к способам контроля процесса сушки пленок фоторезиста.Известен способ контроля сушки пленок фоторезистов по выдерживанию параметров (температуры и времени), получаемых экспериментальным путем.Однако этот способ не обеспечивает стабильного качества высушенных пленок фоторезистов ввиду разброса их по толщине на -+.10%, изменения концентрации фоторезиста в процессе нанесения и изменения площади обрабатываемых пластин.Цель описываемого изобретения - создание способа контроля, позволяющего получить высокое качество пленок фоторезиста независимо от разброса параметров пленки. Это достигается благодаря непрерывному безынерционному контролю процентного содержания фоторезиста в процессе сушки,Для этого контроль ведут по содержанию паров испаряющегося растворителя в потоке газа путем измерения интенсивности поглощения упомянутыми парами электромагнитных волн в области инфракрасного спектра, соот ветствующей характеристикой полосе поглощения паров даного растворителя.Регистрация производится в потоке газа-носителя, не имеющего заметных полос поглощения в контролируемой области инфракрасного спектра.На чертеже показана блок-схема устройства.5 Камера 1 служит для сушки фоторезистивных пленок. Внутри нее встроен источник нагрева 2, назначение которого - обеспечение необходимой температуры высушиваемых изделий 3, Для регистрации расхода газа-носи теля устройство имеет расходомер 4. Камерарегистрации 5 выполняет роль объема, в котором производят анализ по измерению содержания паров растворителя при помощи источника б инфракрасного спектра и его приемни ка 7. Пунктирной стрелкой указано направление лучей инфракрасного спектра, а сплошной - направление движения газа. Контроль за процессом сушки, согласно изо бретению, осуществляется следующим образом. В камеру помещают пластины с нанесенным слоем фоторезиста. Расход газа, продуваемого равномерно через камеру сушки, определяют расходомером, Пары испаряющего ся растворителя в потоке газа направляют вкамеру регистрации 5, где при помощи источ- ника инфракрасного спектра и его приемника фиксируют изменение содержания этих паров в газе-носителе. Вместо продувки газа можно 30 применить систему с откачкой газа из камерысушки при помощи вакуумного насоса, подЗаказ 1703/7 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 соединив последний к выходному штуцеру камеры регистрации,Данный способ контроля сушки малоинерционен, позволяет проводить непрерывное наблюдение за процессом и создает предпосылки к автоматизации его управления. Предмет изобретения Способ контроля процесса сушки пленокфоторезистов, отличающийся тем, что, с целью получения стабильного качества и повышения процента выхода годных высушенных пленок фоторезистов, контроль ведут по содержанию паров испаряющегося растворигеля 5 в потоке газа-носителя путем измерения интенсивности поглощения упомянутыми парами электромагнитных волн в области инфракрасного спектра, соответствующей характеристической полосе поглощения паров данного раст ворителя.

Смотреть

Заявка

1292719

МПК / Метки

МПК: G03F 7/00

Метки: 266560

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-266560-266560.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">266560</a>

Похожие патенты