Патенты с меткой «266560»

Номер патента: 266560

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: G03F 7/00

Метки: 266560

...в потоке газа-носителя, не имеющего заметных полос поглощения в контролируемой области инфракрасного спектра.На чертеже показана блок-схема устройства.5 Камера 1 служит для сушки фоторезистивных пленок. Внутри нее встроен источник нагрева 2, назначение которого - обеспечение необходимой температуры высушиваемых изделий 3, Для регистрации расхода газа-носи теля устройство имеет расходомер 4. Камерарегистрации 5 выполняет роль объема, в котором производят анализ по измерению содержания паров растворителя при помощи источника б инфракрасного спектра и его приемни ка 7. Пунктирной стрелкой указано направление лучей инфракрасного спектра, а сплошной - направление движения газа. Контроль за процессом сушки, согласно изо бретению,...