266077

26607 У Ооюз Советских Социалистических Республик, 21 д, 13(1 65 26-2 Комитет по делам изааретений и открыти при Сосете Мииистра СССРАвторыизобретен Матафо нов В Заявител ТРОННЬ 1 Х ПРИБОРОВ СВЧ оркой тител пе ткачанном при боре.Использование э т получить:хорошую повторяемость по величине сопротивления наносимой на держатели спирали пленки, а следовательно, и по величине затухания, вносимого локальным поглотптелем;локальный поглотитель короче 15 - 20 лл, что необходимо в лампах миллиметрового и с болышим:замедлением сантиметрового диапазона длин волн.Кроме того, затухание, вносимое локальным поглотителем, нельзя изменять в откачанном приборе, в то время как в некоторых случаях (например, в малошумящпх ЛБВ) желательно подбирать определенную величину затухания, вносимого локальным поглотителем, для оптимизации основных характеристик (коэффициента шума, коэффициента усиления, амплитудной характеристики, горячего к,с.в.н.).Цель изобретения - упрощение технологии изготовления электронных приборов. Достигается это тем, что нанесение локального поглотнтеля производят после откачки в готовом приборе термическим распылением металла из испарителя, расположенного внутри лампы. Величина затухания, вносимого локальным поглотителем, аожет контролидО- ваться в процессе несея локального поаявлено 06.Х.1967 ( 118 присоединением заявкиОпубликовано 17.111,1970,Дата опубликования описани ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИ Изооретение относится к области технологии изготовления электронных приборов СВЧ типа ламп бегущей и обратной волны (ЛБВ и ЛОВ). Для обеспечения стабильной работы этих приборов необходимо размещение внутри них локальных поглотителей, вносящих затухание определенной величины. Локальные поглотители могут быть выполнены в виде слоя поглощающего материала, нанесенного на замедляющую систему или на ее диэлектрические держатели.В известных ЛБВ и ЛОВ, имеющих замедляющую систему спирального типа, локальный поглотитель наносится обычно двумя способами: 1) на диэлектрические держатели спирали перед сборкой высокочастотного блока;2) на спираль и диэлектрические держатели спирали в собранном высокочастотном блоке перед сборкой прибора,Существенным недостатком первого способа является то, что затухание, вносимое потлотителем, очень критично к зазору между покрытием и спиралью, поэтому неизбежен брак готовых приборов по коэффициенту;затухания,При втором способе нанесения локального потлотителя приходится пользоваться сложной технологией, чтобы обеспечить постоянство затухания, вносимого локальным поглотих способов не позволяеЗаказ 1712/1" ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий,при Совете МинистровМосква Ж, Рау 1 нскаи наб., д. 4 5 Типографии, пр. Сапнова, 2 глотителя обычным способом, используемым в готовых приборах СВЧ путем измерения ослабления СВЧ-сигнала, проходящего через прибор, При этом могут измеряться необходимые параметры прибора (коэффициент шума, коэффициент усиления и т. д.).Локальный поглотитель наносится, например, распылением титана на спираль и диэлектрические держатели спирали. Длина поглотителя может быть сделана практически любой, Технология нанесения поглотителя проста. Использование предложенного способа позволяет увеличить процент выхода тодных приборов; улучшить коэффициент шума, коэффициент усйления, к.с.в,н. приборов; получить нужное затухание, вносимое локальным потлотителем, с точностью + 0,5 дб; наносить несколько локальных поглотителей (например, два), при этом зная, какое затухание вносит каждый поглотитель в отдельности.Таким образом, использование предлагаемого способа нанесения локального поглотителя повышает чувствительность и надежность приборов.Иа чертеже показана конструкция ЛБВ,изготовленной по предложенному спосооу.5 Внутри корпуса 1 ЛБВ установлена спиральная замедляющая система 2, закрепленная при помощи диэлектрических держателей 3, Локальный поглотитель 4 наносится распылением титана из испарителя 5 на спираль ную систему 2 и диэлектрические держатели3 через диафрагму б.Предмет изобретенияСпособ изготовления электронных приборовСВЧ типа ламп бегущей или обратной волны, включающий нанесение локального поглотителя на замедляющую систему и ее держатели, сборку арматуры и откачку, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изго товления, нанесение локальното поглотителяпроизводят после откачки в готовом приборе термическим распылением металла из испарителя, расположенного внутри лампы, с одновременным контролем величины затухания.