Устройство для измерения тока пучка электронов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сова Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 02.Х.1968 ( 1272184/26-25)с присоединением заявкил. 21 д, 21/01 11 ПК Н 011 43/02 УДК 621.384.6 (088 ПриоритетОпубликовано 10.11,1970, БюллетеньДата опубликования описания 24 Л 1.197 Коееитет оо аслам иэсоретеиий и открытий ори Совете Министров СССРАвторыизобретения еняк и В, И, Старцев 3 ая,вител СТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТО ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВе раз- электичные на со- Поэтонсация в, копучка, элект- эмисны, то мер род эле 5 си 1)му той тор про 0 род сииИзобретение относится к устройствам для измерения тока пучка заряженных частиц,Известные устройства для измерения тока пучка этектронов по,величине вторичной электронной эмиссии, содержащие эмитирующий и собирающий электроды и электроизмерительный прибор, не позволяют измерять с хорошей точностью часть пучка, которая попадает на облучаемый объект, когда его размеры меньше размеров пучка.Для повышения точностями измерения части тока пучка в предложенном устройстве между эмитирующим и собир ающим электродами расположен дополнительный эмитирующий электрод с отверстием, размер которого равен измеряемой части пучка, и находящийся под отрицательным потенциалом.На чертеже приведена принципиальная схема предлагаемого устройства.Оно содержит эмитирующий электрод 1, собирающий электрод 2, выполненный в виде двух электрическими связанных колец, дополнительный эмитирующий электрод 3, расположенный между эмитирующим и собирающим электродами, и измерительный прибор 4,Устройство для измерения тока пучка помещается на пути пучка ускоренных электронов перпендикулярно к его направлению. Собир ающий электрод н аходится под положмтельным потенциалом, дополнительный эмитирующий - под отрицательным. Оба эмитирующих электрода изготовлены из одного материала с тем, чтооы коэффициенты вторничной эмиссии обоих электродов были равны,При прохождении пучка ускоренных элект ронов через измеритель с эмитирующего электрода выбиваются вторичные электроны, число которьх пропорционально числу электронов в пучке. При этом эмитирующий электрод заряжается. Ток этого заряда регистрирует из- О мерительный прибор. Вторичные электроныэмитпруются с электрода 1 в обе стороны с одинаковой эффективностью. Прав ая половина вторичных электронов уйдет на собирающий электрод, так как он находится под по лотительным потенциалом. Вторичные электроны, эмитируемые влево от электрода 1, возвращаются обратно, так как он находится под небольшим положительным потенциалом, а электрод 2 - под отрицательным. сли поперечный размер пучка больша отверстия, то с дополнительногоа будут также эмитироваться вторктроны и попадать соответственноающий и эмитирующий электроды,на электроде 1 произойдет компечасти заряда вторичных электроноый обусловлен током первичногошедшим за пределами отверстия в2. Так как коэффициенты вторичнойобоих эмитирующих электродов рав263759 П р ед м е т и з о бр ете ии я Составитель Н. С. Соловьев Редактор П. А. Вербова Техред Т, П. Курилко Корректоры: А. Абрамова и Л. КорогодЗаказ 1399/4 Тираж 480 ПодписноеЦИИГИ Комитета по делам изобретении и открытий при Совете Министров СССРМосква Ж.35, Раушская наб., д. 4,5 Типография, пр. Сапупоза, 2 ток эмитирующего электрода 1 будет пропорционален той части пучка, которая пролетела через отверстие электрода 2,Для получения хорошей временной стабильности коэффициента вторичной эмиссии, а также для получения независимости работы прибора от окружающей среды эмитирующие и собирающие электроды помещены в отдельный откачанный и отпаянный вакуумный объем 5. Входные,и выходные стенси объема выполнены из тонкой металлической фольгами. Такая конструкция устройства позволяет использовать его независимо от внешних условий,Устройство для измерения тока пучка электронов по величине вторичной электронной 5 эмиссии, содержащее эмитирующий и собир ающий электроды, электроизмерительный прибор, от,гичаюи 1 ееся тем, что, с,целью повышения точности измерения части тока пучка, между эмитиру 1 ощим и собирающим элек тродами расположен дополнительный эмитирующий электрод, находящийся под отрицательным потенциалом и имеющий отверстие, размеры которого равшя измеряемой части пучка.