Устройство для химического полирования пластин

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 257254ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Саюз Советских Социалиотическнх Республикисимое от авт. свидетельствал. 48 а, 1/О 1094651/25-8) аявлено 29. 1/11,19 рисоединением заявкиК С 23 Ь Комитет по делам изобретений н открытн прн Совете Министров СССРПриоритетОпубликовано 11,Х 1.1969. Бюллетень3Дата опубликования описания 31.111.1970 ДК 621.9.047,06(088,8 Авторыизобретени фК. Гусев, Н. В. Огарков, В. А. Перевощиков и В, А. ШуркиЦентральный научно-исследовательский институт технологии и организации производства явите АНИЯ ПЛАСТИ ИЧЕСКОГО ПОЛ СТРОЙ СТВ вают на круглые подл чить перемещение пла разующей конуса расп щие упоры 6, которые5 кой 7 для подвода хим ветствует числу обраба Чтобы огранисательно к обт ограничиваю- связаны с трубИх число соотх пластин,жки б. тин, ка олагаю жестко икатов. тываем едмет изобретения 10п в ния стор стин Известны устроиства для химического полирования пластин, состоящие из цилиндрического реакционного сосуда с вертикальной осью вращения и неподвижной трубкой для подвода химикатов.Отличие описываемого устройства от известных заключается в том, что на дне реакционного сосуда смонтирован конус с ведущим пояском. Ограничивающие упоры по числу обрабатываемых пластин расположены по касательной к образующей конуса и жестко связаны с трубкой для подвода химикатов.Устройство такой конструкции позволяет увеличить производительность и улучшить качество полирования.На чертеже показан разрез описываемого устройства,Оно содержит реакционный сосуд 1. Конус 2 с ведущим пояском 3 служит для размещеполупроводниковых пластин 4. Для однооннего полирования или полирования планекруглой формы последние устанавлиУстройство для химического полированияластин преимущественно из полупроводникоого материала, состоящее из цилиндрического реакционного сосуда с вертикальнои осью вращения и неподвижной трубкой для подво да химикатов, отличающееся тем, что, с цельюувеличения производительности и улучшения качества полирования, на дне реакционного сосуда смонтирован конус с ведущим пояском, а ограничивающие упоры по числу обрабаты ваемых пластин расположены по касательнойк образующей конуса и жестко связаны с трубкой для подвода химикатов.257254 Составитель В, ПерепелицынС. Коган Техред Л. В, Куклина Корректор О. И. Усов едак ипография, пр, Сапунова,аказ 709/7НИИПИ Комитета по делам изМосква Ж Тираж 480тений и открытий при Сове

Смотреть

Заявка

1094651

В. К. Гусев, Н. В. Огарков, В. А. Перевощиков, В. А. Шуркин, Центральный научно исследовательский институт технологии, организации производства

МПК / Метки

МПК: C23F 1/08

Метки: пластин, полирования, химического

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-257254-ustrojjstvo-dlya-khimicheskogo-polirovaniya-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для химического полирования пластин</a>

Похожие патенты