Многоэлектродный зонд

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 25689 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства МЗаявлено 27.1 Ъ.1967 ( 1152115,26-25с присоединением заявки Ъо з. 21 д, 18 МПК 6 011ДК 533 9 08(088 8 Комитет по делом зобретеиий и открытий ори Совете Министров СССРиоритет Опубликовано 02.17.1970. Бьоллетець Х Дата опубликования описация 1.1 Х.970 НОГОЗЛЕКТРОДНЫЙ ЗОНД Изобретение относится к устройствам длядиагностики плазмы в лабораторных установках, ионосфере и т. д,Известны многоэлектродные зоны для измерения параметров потока плазмы, напримердля определения температуры электронов, содержащие корпус, диафрагму, входной, разделяющий, анализирующий электроды и коллектор. Изменяя напряжение на анализирующемэлектроде, определяют энергетический спектр 10частиц в плазме. Однако если анализирующииэлектрод выполнен в виде простой сетки, тоимеет место провисание потенциала в ячейкахсетки. В результате частицы, например электроны, движущиеся через центр ячейки, отсекаются при более низком значении потенциала, чем те электроны, которые проходят вблизи прутков. Зто приводит к уменьшению точности измерений,В описываемом устройстве для устранения 20этого недостатка анализирующий электрод выполнен в виде плоской камеры, закрытой наторцах сетками,На чертеже изображена схема зонда.Зонд состоит из цилиндрического корпуса 1,диафрагмы 2, входного электрода 3, выравнивающего электрическое поле на входе в зонд,разделяющего электрода 4, разрывающегоплазму на компоненты, анализирующегоэлектрода 5 и коллектора, б сооирающеготок ЗО заряженных частиц того знака, анализ которых производится. Все электроды. включая и диафрагму, отделены один от другого фторопластовымп шайбдмп 7 и изолируются от корпуса втулкой 8. Такос разделецие диафрагмы 2 и корпуса 1 позволяет подавать ца дцафрдгму электрический потенциал, не вносящий значительного возмущения в плазму и обеспечивающцй прохождение всего потока дцалируемых частиц внутрь зонда.Для устраце;ц 1 я влияния неоднородности электрического поля в ячейках анализирующего электродд ид результаты измерения параметров плазмы оц выполнен в виде плоской цилиндрической камеры, закрытой по торцам плоской вольфрамовой сеткой, например с ячейкой 80 р(80 лк и диаметром прутка 8 ли. Высота плоской цилиндрической камеры составляет примерно десять калибров ячейки сетки. Плоская цплицдрическця камера устанавливается между разделяющим электродом 1 и коллектором б.На чертеже показана схема распределеишя электрических потенциалов в многоэлекгродном зонде для исследования электронной компоненты потока разреженной плазмы, которая поясняет работу устройства. На этой схеме зд ноль принят потснциал стенки вакуумной камеры. На диафрагму 2 и входной электрод 3 подается потенциал, заведомо положительный256891 Предмет изобретения Составитель Кононхред 3. Н. Тараненко орректор Н. А. Митрохина сдвктор Н. С. Закво 232511 Тираж 480 Подписное1111 ИИПИ Когинтса по дспаги изобрстений и открытий при Совеге Министров СССРМосква, Ж, Раугпская наб., д, 4/5 Типогоафия, пр. Сапунова, 2 относитсльно плазмы, чтооы полностью пропустить в зонд электронную составляющую потока. Разделяющий электрод 4 имеет высокий положительньш потенциал для отсечки ионной компоненты потока плазмы. Для подавленнч вторичной электронной эмиссии с коллектора б последний имеет положительный потенциал относительно ближайшего электрода. В этом устройстве анализ электронов по энергиям происходит в эквипотепциальной области, лежащей внутри плоской цилиндрической камеры, представляющей собой анализирующий электрод б. Потенциал данной области практически равен потенциалу анализирующего электрода.Многоэлектродный зонд с анализиру 1 ощим электродом в виде плоской цилиндрической камеры позволяет исключить погрешность в измерениях параметров плазмы, связанную с неоднородностью электрического поля в ячейках анализирующего электрода, что дает возможность проводить измерения в потоках разреженной плазмы с высокой энергией заря женпых частиц,Мпогоэлектродный зонд для измерения па раметров потока разреженной плазмы, содержащий корпус, диафрагму, входной, разделяющий, анализирующий электроды и коллектор, отличсиощийся тем, что, с целью устранения влияния неоднородности поля и повыше ния точности измерения, анализирующийэлектрод выполнен в виде плоской цилиндрн.ческой камеры, закрытой по торцам плоской сеткой и установленной между разделяющим электродом и коллектором.