Сносов измерения поверхностных потенциалов, —-

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 256 О 98 Союз Советских Социалистических Республикависимос от авт. свидетельства .6аявлено 15.Ч 11.1968 (ЛЪ 1255476/26-25)присоединением заявки М Кл, 2 д, 1350 1 ПК Н 011 торите Комитет по изобретекий и при Совете М СССРзлам рытий УДК 62 17.61(088,8) публцковано 04.Х.1969. Бюллетень ст Дата опубликования ош 1 сацця 2-1.111.197 Авторыцзобретени В. Г, Дюков, А. Н. Невзоров, Н. Н. Седов и Г, В, Спивак Московский государственный университет имени М. В, ЛомоносоваЗа 51 ы 1 тсл ЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЬ 1 Х ПОТЕНЦИАЛОВ ОСО Изобрстснис относится к области электронной измерительной техники, а именно, к способам измерения электрических потенциалов на поверхности твердых тел.Известны способы определения поверхностных потенциалов, например, по контрастности изображения в фокальной плоскости электронного эмиссионного микроскопа. Однако этот способ имеет недостатки: например, для получения данных о потенциальном рельефе на наблюдаемом участке изображения выполняют большой объем вычислительных операций,Значение потенциала в конкретной точке поверхности образца невозможно вычислить без обработки данных о контрасте по линии, на которой лежит данная точка.Точность измерений посредством вычисленийций зависит не только от точности снятия данных о контрасте, а также от степени идеализации математической зада 1 чи, результаты решения которой используют при вычисленш на машине.Извеспсый способ обеспечивает получение информации О таком потенциальном рельефе, который дает заметный конграст изображения. С целью повышения точности определения измеряемых величин и повышения разрешаю щей способности прц упрощении процесса из мерецп 51, согласно предлагаемому способу, электроны, эмцтп 1 ровацные с поверхности твердых тел, фильтруют по эцсрп 1 ям и регистрируют цх значения, по которым сулят об 5 измеряемых величинах.Для осуществления спосооа цс пол ьзу 1 О гэлементы электронной эмиссионной оптики с системой фильтрации электронов по эцерп 1 ям и телсвцзпошой тсхццкц.10 Информацию о потенциальном рельсфс получают путем непосредственного отсчета аосолютных значенцй потенциала в лаццой точке поверхности образца, а также авто)атичсским построе)ц 1 ем эквцпотеццпалей с цзмсрец ных значением ца наблюдаемом участке изображения поверхцост образца.На чертеже представлена блок-схема измерительной установки, содержащая ооразсц 1, фильтрующцй элемент 2, регистратор 3, мцк роампсрмстр 4, усилитель б, элсктроццолучсвую трубку 6, гс)1 сратор 7 пцлоос)раз)ого тока, Отслоцясогц 1 О с 11 стс 1 с 1 У 8 груб 511, Огклоцяющую систему 9 колонны.Электроны, создаюццс пзоора;ксцпе цо ве 1)хцост 11 ОО 1)азца 1 в э)1 цсспоц)юм хспкроскопс, с помощью 11)цльтрующего элемента 2, например линзы Чо 1 спз 1 сй цлц системы типа одиночной линзы в зеркальном рсжцмс, разделяются по энергиям, Рсгпстратор 3, например ЗО ФЭУ плц ВЭУ, отмечает ток электронов, цмс256098 Предм ет изобретения Составитель М. Лепешкина1 сдактор Т, 3, Орловская Техред Т. П. Курилко Корректор А, П, Васильева Заказ 579,15 Тираж 480 11 одппсноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытии при Совете Министров СССРМосква Ж, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 ющих определенную энергию, обусловленную поверхностным потенциалом в данной гочкс образца,С целью автоматического построения эквилотенциалей на изобрахкении поверхности образца создается видеосигнал, например, по принципу диссектора от имеющих определенную энерги 1 о электронов. С усилителя 5 сигнал подается на модулятор трубки б, развертка луча в котором осуществляется с помощью питающейся от генератора 7 пилообразного тока отклоняющей системы 8 синхронно со сканированием изображения в колонне микроскопа, осуществляемым отклоняющей системой 9. Способ измерения поверхностных потенциалов и энергетических спектров электронов, эмиттированных с поверхности твердого тела с помощью эмиссионного микроскопа, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения измеряемых величин и повышения разрешающей спосооности при упрощении 10 процесса измерения, электроны, эмиттированные с поверхности образца, фильтруют пс энергиям и регистрируют значения их потоков. по кото 1)ьм судят об.пзме 1 зяемых величинах.15