245515

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ьовв боеетокив Социелиотичеокик РеоауйликВо:СОЮЗИЙ ПАТЕНТНОТЕХНИЧЕСКАЯ ЕИБЛИОТЕКА Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 02.Х 1.1967 ( 1200668/26-9)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 04,И,1969. Бюллетень19Дата опубликования описания 12.Х 1.1969 Клйомитет оо делам квооретений и открытий ори Совете Министров СССР3 аявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК Известны устройства для измерения скорости нанесения пленок при термическом испарении материалов в вакууме, содержащие модулятор ионизирующего потока электронов и регистрирующий прибор.Цель изобретения - повысить точность измерения.Достигается это тем, что в предложенном устройстве рабочий обьем вакуумной камеры разделен на четыре сектора, каждый из которых снабжен модулятором потока электронов и коллектором электронов, коллекторы электронов соединены между собой попарно и подключены через дифференциальный усилитель к регистрирующему прибору.Конструкция устройства изображена на чертеже.В вакуумном объеме на пути потока молекул испаряемого материала помещен вольфрамовый катод 1. С двух сторон катода установлены два решетчатых модулятора 2 и 3, к которым подключен источник 4 модулирующего напряжения. Напряжение на модуляторы 2, 3 подается в противофазе. На некотором расстоянии от модуляторов помещены четыре коллектора 5 - 8. Переменное электрическое поле модуляторов заставляет тепловые электроны, эмиттируемые катодом 1, двигаться попеременно то в сторону модулятора 2 (в отрицательный полупериод напряжения), то в сторону модулятора 3 (в положительный полупериод напряжения), При этом часть электронов пролетает через решетку модуляторов ипопадает в пространство между модуляторами5 2, 3 и коллекторами 5 - 8. Это пространство спомощью экранов 9 разделено на четыре равных сектора 10 - 13. В каждом секторе размещен один из коллекторов 5 - 8,Для питания катода служит источник И,10 соединенный со стабилизатором 15 тока эмиссии.В положительный полупериод напряжения,приложенного между катодом и модуляторами, электрическое поле направлено от моду 15 лятора 2 к модулятору 3, а электроны, эмиттированные катодом, под воздействием полядвигаются от катода в сторону модулятора 2,навстречу полю, и часть по инерции пролетает через решетку модулятора в секторы 10, 11.20 В отрицательный полупериод напряжения,приложенного между катодом и модуляторами, электрическое поле направлено от модулятора 3 к модулятору 2. Прп этом электроны, эмиттированные катодом, под воздействи 25 ем поля двигаются от катода в сторону модулятора 3, навстречу полю, и часть их по инерции пролетает через решетку модулятора 3 всекторы 12 и 13.Коллектор 5 соединен с коллектором 7, а3 о коллектор б - с коллектором 8. Каждая па245515 ный суммарной ионизацией молекул пспгфяе мого вещества и остаточных газов (например, сектора 10), находится в противофазе.Таким образом, напряжение на выходе диф ференциального усилителя 1 б представляетсобой разностный сигнал, в котором исключена составляющая напряжения, обусловленная ионизацией молекул остаточных газов, Благодаря этому повышается точность измерения 10 скорости нанесения пленок и расширяетсядиапазон измерения скорости вследствие повышения чувствительности прибора и увеличения отношения уровня полезного сигнала к уровню помехи.15 Устройство для измерения скорости нанесения пленок при термическом испарении мате 20 риалов в вакууме, содержащее модуляторионизирующего потока электронов и регистрирующий прибор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, раба.чий объем вакуумной камеры разделен на че 25 тыре сектора, каждый из которых снабженмодулятором потока электронов, и коллектором электронов, а коллекторы электронов соединены между собой попарно и подключены через дифференциальный усилитель к регист- ЗО рирующему прибору. дактор Л. Калашникова Составитель Н. Давыдов ректоры: А. Абрамов и Л Корогоаказ 2680/12 Тираж 480 Подписно НИИПИ ография, пр, Сапунова, 2 ра соединенных между собой коллекторов подключена к соответствующему входу дифференциального усилителя 1 б, на выходе которого включен регистрирующий прибор 17,Секторы 11 и 12 закрыты от потока напыляемых частиц маской 18 секторы 10 и 1 оставлены открытыми. Таким образом, в секторах 11 и 12 находятся молекулы остаточных газов, а в секторах 1 О и 13 - молекулы испаряемого вещества и остаточных газов.В положительный период напряжения в результате неупругого соударения электронов, пронизывающих сектор 11, с молекулами остаточных газов в этом секторе появляются по. ложительные ионы, которые попадают нч коллектор 6. В то же время электроны, пронизывающие сектор 10, вызывают ионизацию молекул испаряемого вещества и остаточного га за, при этом положительные ионы попадают на коллектор.В отрицательный полупериод напряжения в секторе 12 происходит ионизация остаточных газов, а в секторе 13 - молекул испаряемого вещества и остаточного газа, в результате чего положительные ионы попадают на коллекторы 7, 8.На входе усилителя 1 б появляется напряжение переменного тока. При этом поскольку коллектор 5 соединен с коллектором 7, а коллектор б - с коллектором 8, ток, обусловленПредмет изобретения