Калориметрический датчик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ идетсльства х ависимос от авт 11 102 яявлсно 31.Х 11,1965 ( 1047771(2 Я 51 В К И Ь присос;цПениемрюритст Ч 1)х С 01 итет по дела забретений и открытийпри Совете МинистровСССР.1968 уоликовдио 3 ния 5,1 Х.196 1 ята Опуоликовдн 1 Авт Ю, 1 О, Колочинский зооретени Заявитель ОРИМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧ 2 Изобретение относит 51 к области измсрсия тепловых потоков в импульсных и ударны.; яэ. родицамичсских трубах.Известные калоримстричсскпс датчики, в к 1- торых роль тсрмочувсвитсльцого элсмси гя выполняот термопары, имеют низкую чувствительность и болиную инерционность.Предлагаемое устройство позволс: усгра. нить вышеуказанные недостатки и отличястс тем, что в нем тсрмочувствитсльный элсмсн Выполнен В виде зяп 013 ного сл 051 В мсс 1 с контакта полупроводниковой пленки с осно 3 Пис 31 датчика, к которым соответственно прикреплены электроды со стороны, противополоткнои воспринимающей тепловой поток.На чертеже показан предлагаемый;атч и к.Он состоит из тонкой теплопроводной, например, мсдцОЙ пластинки 1 диякстроп пор 51;1- ка два миллиметра, полупроводникового слоя 2 из материала (наприхер, из закиси мс;И), образующего с пластинкой запорный слой, серебряной пленки 3 толщиной в несколько микрон, выводов 4 и 5 из тонкой проволоки малой теплопроводцости (например, из консгацтана), припаянных к серебряной пленке и мс.- ной пластинке, и теплоизолшоцной массы 1 напри;3 ер, эпоксидной смолы), при помощи которой датчик закрепляют ца повериисти модели 7, Принцип работы предлагаемого датчика отличается от принципа работы известных кя ларимстрических датчиков и заключается в измерении скорости изменения температуры ктл 01 и.1 ст 13 исеко массы, акку:5 улирующей тепло. Мерой теплового потока тдкик датчиков слукит скорость изменения температуры калоримсгричсской массы,Р 3 ль тсрмочувстьптельного элемента термометра сопрогивлсия выполняет запор 010 Й 3 3 сстс коптя кгя иляст 1 нки с полупроводником. 11 змсритсльцый ток подводится пн 130 локой к пластинке, проходит через за- .:рп 1,й слой, сло полупроводника, ссрсбрян 310 плснкм и ОГВО;1 и 1 с 51 Вто)301 п 130 волоко. Омисскос сопртивлснис запорцого слоя как и вского полупроводника зависит от его темпераурь. Зя Ориый слой у мсдп с закисью мс:1 имсс Темпера гурный коэффициент пордкя 0,05 1 грал. 1 як кяк запорныц слой расиолотксн н 1 иос",.ности металла, то темпера л ря поверхности плястинк 1 одновремеццо явлстс температурой тсрмочувствительного эгс 31 сцтя. ТякоЙ тср 310 чувст 13 итсльцыЙ элсмсн Г лл 1 змсрсния гстпертурь погсркности пла 01 ин 1.и 5113 л 51 сто бзьнсрц 1 онны 31. 11 змс 13 ит ль 1 и ТОК П 0,1 В 0,1 ИТС 51 и ЗЯИЛН 031 М СЛОЮ ЧСРСЗ слой полмпроводцикя, и поэтом 3 полное сопрог 3 лснис дятп 1 кя ряв 10 су 3 мс сопр 01 ИВлсций запорного и полупроводникового слоев. Плм - пвоводникоВЫИ с,ой имсс 3 примс 1 ио одинаков; 10 техПера гу)тн 3 ю чувствительность с запор:ым слоем, однако он обладает ицсрционнг219262 Прс;мст изобретения Составити В. АГаиоваРедактор А. И. Шиллер Тскрс; Т. П, Курико Корректор С. П. Башлыков Заказ 2898120 1 врикЦ 11 ИИПИ Ксмитста ио делам изобрстсиийМосква, Цситр, ир Г,З о кр 1 ти кои С .срова, д 1 Поисиостс Мииист 5 ов СССР ииографи ир Саиуиоиа,стью, так как теплопроводцость его зцачцтсль. но ху 5 ке, чем у металла. В целях умсцьщсция влияния полупроводникового слоя датчик из готавливается так, что осцовцос сопропгзлсцце его сосредоточено в запорном слое. Всличцца сопротивления датчика в зависимости ог трсбований мокнет составлять от 1 сод до 1,о.ь НаПРЯтКЕНИЕ ПИтаНИЯ - От ДОЛЕЙ ВОЛЬГа :О нескольких Вольт. П 1)1 Иацр 515 ксцци питания терыоч"/Вств 1 ТелыОГО элемента В 4 8 чувстви тельность его составляет 200 1 в ца градус, т. е. она в несколько тысяч раз вы;це, чем у термопар. Кало 1 эимстричсскцй датчик, содсрхкащий ме 1 аллц 1 сскос основание и термочувствительцыи5 элемент, отцааОщ.1 с тем, что, с целью увслцчсцц 5 чувствитсл 1 ц 1 осп и уменьшения динамцчсскцх ошибок измерения теплового потока,и цсм тсрмочувствцтсльцый элемент выпо.ц 1 сци ьч 1 дс запорного слоя в месте контакта полу 10 цроводциковой цлсцки с основанием дагчика,к которым соответственно прикреплены электроды со стороны, противоположцой воспринимающей тспловой поток,