ZIP архив

Текст

ПИСА ЗОБРЕТ Союз Созетскик Социалистических РеспубликИ ЕТЕЛЬСТВ АВТОР О(ОМУ висимое от авт. свидетельств Кл. 32 Ь, 3/081126901/29-33) аявлено 10.1,19 ПК С 03 с Комитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССРриоритет убликов та опуб К 666.112,7(088 о 17.Ч.1968. Бюллетень17 кования описания 19 ХП 1.19 Авторыизобретения К, Алейников, Р. Б. Паулавичюс, И. И. Житкявичю Р-С. М. Жукаускас и Ю, П. Вайткуситель СТЕКЛ 3,610 то 0,5 - 5 9,3 - 3 ЯОВзОзА 1 зОзХпО 9,9 - 10, 3,4 - 3,62,3 - 2,5 Ма ствующих карбонакремния в силитопри 1350 - 1400 С.в муфельной печи 3 - 4 час.т следующие свойСтекло варят ов или нитрато ой или пламен Отжиг стекла п ри 500 в 5 С Полу ченно сиз соотве В и окис той печи роизводят в течение екло имее ффициентзоо = 3 с.4 оо = 4 терм иче10 т ко гр гр расширения с присоединением заявки М Предлагаемый состав стекла можно использовать в стекольной промышленности для защиты поверхности монокристаллов кремния и кремниевых полупроводниковых структур.Известно стекло, включающее %0 з, ВзОз, А 1 зОз, ХпО, ХазО, КзО.Прсдлагаемое стекло, по сравнению с известным, имеет более низкую температуру плавления и повышенную химическую устойчивость и термостойкость. Это достигается тем, что стекло содержит указанные компоненты в следующих соотношениях в . по весу: Химическая стойкость соответствует второму гндролитическому классу.Микротвердость 1-1, кг/ялз 500 Модуль упругости Е, кг/,ялз 5750 Модуль сдвига Ст, кг/л,яз 2300 Коэффициент Пуассона М 0,250Удел ьн ый вес у, г/слз 2,34 Удельное объемное электросопротивление, отт см рсзоо.Тангенс угла диэлектрических потерь 1 д б 37 10 зДиэлектрическая проницаемость Е 5,1Электрическая прочность кв сл ек 3,5 Пленки из стекла изготовляют методом выдуванпя. Стеклянную пленку толщиной 5 - 25 лтклт на поверхность монокристалла кремния или кремниевые структуры наносят в вакуумной установке. Разогрев образца и стеклянной пленки производят в печке, вмонтированной в вакуумной установке, которая состоит из кварцевого цилиндра, обмотанного нагревательным элементом. Температуру нагрева контролируют две термопары. После закрепления образцов и пленки в печи вакуумирования не ниже 10 4 л,я рт. ст. печь сначала нагревают до 640 - 650-"С в течение 15 - 30 лтн, а затем в течение 2 - 5 лтан, до температуры 660 - 670 С,Заказ 234,12 Тираж 530 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 Типограф з, пр, Сапунова, 2 После этого в вакуумную установку пускают воздух или инертный газ, который резко повышает давление до атмосферного. Благодаря этому происходит прочное сцепление стеклянной пленки с образцом,Предмет изобретенияСтекло, включающее 510 з, ВвОз, А 1 вОз, ХпО, ЫавО и КО, отличающееся тем, что, с целью снижения температуры плавления, повышения химической устойчивости и термостойкости, оно содержит указанные компоненты в следующих соотношениях в % по весу:5 510 вА 1 вОзХпОХазО1 О КвО 50,5 - 52,129,3 - 303 - 3,39,9 - 10,13,4 - 3,62,3 - 2,5

Смотреть

Заявка

1126901

Ф. К. Алейников, Р. Б. Паулавичюс, И. И. Житк вичюте, Р. С. М. Жукаускас, Ю. П. Вайткус

МПК / Метки

МПК: C03C 3/093

Метки: 218378

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-218378-218378.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">218378</a>

Похожие патенты