Номер патента: 210436

Авторы: Новиков, Смирнова

ZIP архив

Текст

Союз Советскик Социалистическик Республик/ф ависимое от авт. свидетельствааявлено 21,113. 1966 ( 1063854/26 при соедин ени заявки Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Мииистров СССРявител ДАТЧИ ЛЕНИ максимальных радиальнь;х та заделки мембраны, ыводов наносится серебро.давления мембрана 1 рмация преобразуется ченрический сигнал.по данному изобретению ьзован для статических и рений давления без примеедмет изо ретенияржащий корпотличающийсячувс"витепьнполупроводнгпбрану в виде Дат мембр 15 что, стензом пленки концен ус и тем, ости, овой двух чик давлени ану с тензом целью пов етры выполии нанесены трических ко я, соде етрами, ышения ены из на мем лец. Известные датчики давления содержат кор. пус и мембрану с тензометрами.Предлагаемый датчик давления отличается от известных тем, что в нем тензометры выполнены из полупроводниковой пленки и нанесены на мембрану в виде двух концентрических колец. Такое выполнение датчика позволяет повысить его чувствительность.На чертеже схематически изображена конструкция описываемого датчика давления.На круглую мембрану 1, жестко закрепленную по контуру, предварительно наносится плазменным методом тонкий слой изоляции 2 из окиси алюминия, который затем шлифуется, На слой изоляции 2 в вакууме с использованием трафарета методом термического испарегия и конденсации наносится германий концентрическими кольцами около центра мембраны в областях напряжений от мес В местах пайки в Под воздействие 5 прогнется и ее дефо зометрами 3 в элект Датчик давления может быть испол динамических изме 0 нения усилителя.едак пография, пр. Сапунова, 2 аказ 594/20ЦИИИПИ Комитета делам Мос Тираж 530 Подписноебретений и открытий при Совете Министров СССРЦентр, пр. Серова, д. 4

Смотреть

Заявка

1063854

Центральный научно исследовательский ннститут машиностроени

Л. В. Новиков, Р. С. Смирнова

МПК / Метки

МПК: G01L 9/06

Метки: давления, датчик

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-210436-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик давления</a>

Похожие патенты