Датчик давления

ОПИСАНИЕ ИЗОЬЕВт ЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических) Заявлено 16.06.76 (21) 2372738/18-10 присоединенном заяви Гасударственный комнте Совета Министров ССС(45) Дата опубликования описания 12.05.78 53) УДК 537.787.91) Заявитель ищевойсова десскии технологическии институтим. М, В, Лом гшленност АВЛЕНИЯ(54) Изобретение относится к области измерения вакуума.Известен датчик давления 111, содержащий тонкий слой полупроводникового материала с заданной температурой перехода между состоянием низкой и высокой проводимости. Датчик устанавливают в место, где он подвергается воздействию остаточных газов. Специальное устройство формирует периодически изменяющийся ток, проходящий через тонкий слой полупроводника, и нагревает его. Другое устройство измеряет сопротивление слоя. Плотность остаточного газа определяет отвод тепла от нагретого образца и, следовательно, его температуру, а сопротивление полупроводника меняется от температуры. Недостатком датчика является его сложность.Известен датчик давления 21, выполненный в виде керамической трубки, на внутреннюю поверхность которой нанесен слой индия, который затем отжигается до образования полуокиси индия. По изменению сопротивления слоя судят о степени вакуума в камере. Недостатками датчика являются громоздкость, сложность изготовления, а также то, что он является устройством одноразового действия.Целью настоящего изобретения является создание простого по конструкции датчика давления, способного измерять степень разрекения в полости без внесения существенных 2изменений в ее температурное поле. Указан ная цель достигается за счет того, что в датчике давления, содержащем чувствительный элемент в виде слоя материала, нанесенного 5 на подложку и электрические контакты, чувствительный элемент выполнен в виде окисленной кремниевой пленки с электрическими контактами, нанесенными на ее краях,На топкослойный изоляционный материал, 10 например слюдяную пластинку или лавсановую ленту, термическим испарением в вакууме наносится кремниевая пленка толщиной 0,05 - 0,5 мкм с последующим естественным окислением при хранении на воздухе при ат мосферном давлении, Контакты изготовляются вакуумным напылением металла на края кремниевой пленки, однако при работе в больших полостях могут быть применены также и прижимные контакты. Датчик подключается 21 к измерительной схеме, находящейся вне камеры и позволяющей измерять его сопротивление.На чертеже схематически изображен предлагаемый датчик, где 1 - подложка; 2 - 25 кремниевая пленка; 3 - контакты.Измерения проводятся следующим образом.Между экранами изоляционного пакета закладывается датчик, относительное У изменение сопротивления которого предварительно проградуировано по давлению; измеряется наРедактор В. Левитов Заказ 806/16 Изд.456 Тираж 841 Подписное НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 3чальное сопротивленис Яо кремниевой пленки при атмосферном давлении непосредственно перед опытом, а затем определяется сопротивление Я в процессе откачки; вычисляется Ьй, где ЛЯ=Я - Ро, по градуировочной кривой =/(р) данного датчика определяетсяЙодавлеыие в изоляционном пакете.ПФлагрмый датчик отличается от известных тем, что при измерении вакуума используются окисленные поверхности полупроводников. Датчик не требует обезгаживания поверхности, что позволяет не производить специальную подготовку перед замерами, т, е. обеспечивается многократное применение датчика.Отсутствие необходимости нагрева дает возможность измерять степень разрежения в вакуумной термоизоляции, так как исключается возмущение температурного, поля изоляции. Кроме того, это значительно упрощает конструкцию. Изготовление датчика плоским расширяет диапазон полостей, в которых можно производить измерения, доводя их толщину до0,05 мм.Датчик прост в изготовлении и эксплуатации.5 Использование предлагаемого датчика даетвозможность более надежно оценивать теплофизические характеристики экранной вакуумной изоляции, как в лабораторных, так и впромышленных изделиях,10Формула изобретенияДатчик давления, содержащий чувствительный элемент в виде слоя материала, нанесенного на подложку, и электрические контакты,15 отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, чувствительный элементвыполнен в виде окисленной кремниевой пленки с электрическими контактами, нанесенными на ее краях.20 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США3884080, кл, 73-398, 1975.2. Патент США3747410, кл. 73-398, 1973.