ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 205820ИЗОБРЕТЕНИЯ Сокз Советских Сспиалистинеских Республин(088.8) Комитет по делам зобретений и отнрытий при Совете Министров СССРиковано 02.Х 11.1967, Бюллетень24 1 ата опубликования описания 16.1.196 Авторы изо брет Заяви АСХ ЛЯ РЕГУЛИРОВА УСТРОЙСТ Известны устроиства для регулирования расхода кислорода в аппаратах для выращивания монокристаллов по способу Вернейля, включающие регулятор с установленным на газовой линии клапаном и механизм измене пия проходного сечения клапана по заданной программе.Отличием описываемого устройства является то, что на мембране регулятора укреплена емкость, соединенная переточной трубкой с 10 расположенной над ней емкостью с постоянным уровнем жидкости, в полости которой установлены связанные с приводами перемещения относительно уровня жидкости программный элемент, форма и объем которого 15 соответствуют заданной программе, и элемент с постоянной по высоте площадью поперечного сечения. Перемещением программного элемента относительно уровня жидкости осуществляют плавное регулирование расхода газа 20 по заданной программе, а перемещением элемента с постоянной по высоте площадью поперечного сечения - изменение программы в процессе выращивания.На чертеже изооражено описываемое уст ройство, общий вид.Расход газа, подаваемого по трубопроводу 1, определяется проходным сечением двухседельного клапана 2, соединенного системой рычагов 3 с укрепленной на мембране 4 емко стью 5. Над этой емкостью установлена емкость б с постоянным уровнем жидкости, определяемым высотой расположения верхнего торца переточпой трубки 7. Над уровнем жидкости в емкости б расположены программный элемент 8, форма и объем которого соответствуют заданной программе, и элемент 9 с одинаковой по высоте площадью поперечного сечения. Оба элемента соединены с приводами перемещения их относительно уровня жидкости в емкости,Устройство работает следующим образом. Программный элемент 8 вводят с помощью привода в жидкость, находящуюся в емкости б, Вытесненная жидкость переливается через трубку 7 в емкость 5, укрепленную на мембране. Количество перелитой жидкости определяет величину опускания емкости и, соответственно, величину изменения плошади проходного сечения клапана в процессе выращивания; программу расхода можно изменять, опуская вместе с программным элементом дополнительный элемент 9.Изменение расхода кислорода осуществляют при разращивании затравки. После установления режима выращивания приводы перемещения элементов 8 и 9 отключают. Постоянный расход кислорода поддерживается регулятором. Воду из емкости 5 сливают че рез эластичную трубку 10. Емкость регулято. Карано ректоры: Л. В, Наделяева и А, П, Татаринцева едакто Заказ 46 С 5/7 Тираж 535ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытМосква, Центр, пр. Серова Подписноепри Совете Министров СССР4 пография, пр, Сапунова, 2 ра 11 соединена с выпускным трубопроводом 12 отверстием 13. При повышении давления в трубопроводе 1 давление в емкости 11 также повышается, емкость 5 поднимается и перемешает рычаги, воздействующие на клапан. В результате проходное сечение клапана уменьшается. Трубопровод 1 отделен от емкости 11 мембраной 14. Предмет изобретения1. Устройство для регулирования расхода газа в аппарате для выращивания кристаллов по способу Вернейля, включающее мембранный газовый регулятор и механизм изменения проходного сечения клапана регулятора по заданной программе, отличающееся тем, что,с целью повышения плавности регулирования, опо выполнено с укрепленной на мембране регулятора емкостью, над которой расположена емкость с постоянным уровнем жидкос ти, снабженная подвижно установленным в ееполости программным элементом, форма и объем которого соответствуют заданной программе, причем в полость укрепленной на мембране емкости введена трубка, определя ющая уровень жидкости в верхней емкости.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем,что, с целью изменения программы в процессе выращивания, в полости емкости с постоянным уровнем жидкости подвижно установ лен элемент с постоянной по высоте плогцадью поперечного сечения,

Смотреть

Заявка

1085965

МПК / Метки

МПК: C30B 11/10, G05D 7/00

Метки: 205820

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-205820-205820.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">205820</a>

Похожие патенты