191010

О П И С А Н И Е 191 О 1 ОИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДНЕЛЬСТВУ Союз Соаатокик Социалистичесннх РеслублииЗависимое от авт. свидетельстваКл э 1 о, 31/20871226/26-2 Заявлено 19.Х 11.19с присоединением вкиПК и 011 1 оритет митет оо селам аобретений и открытийори Совете МинистровСССР.33(088.8 УДК 537.5 967, Бюллетень3я описания 5.11.1967 Опубликовано 14.1 Дата опублпкованз Авторыизобретени С. Я. Явор, А, Д. Дымников, Т, Я. Фишко Физико-технический институт имени А Ю) 1),1,А,1 ",е явите Гхппр:,".: М :; 6 "1", Ц.1 А АХРОМАТИЧЕСКИЙ АНАМОРФОТНЫЙ ДУБЛ ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИ- 1 д 1,5д+ - й 1 1 а) / а 12 тСа+ =.) 5 д 1 ф -ай 1,а 4 1(тСакоторых2 Кв с 1 0,8-,. К,(п/) 1 /1 Е 1=1; 2 2Е ГтС) 2 п глг магПри фокусировке пучков заряженных частиц, имеющих разные энергии, существенную роль играет хроматическая аберрация фокусирующей системы. От ее величины существенно зависит разрешение различных электронно- и иоппооптпческпх приборов. Доказано, что хроматическая аберрация обычно используемых для фокусировки аксиальпо-симметричных систем принципиально пе может быть уменьшена до нуля.Предложенная система из двух неаксиально симметричных элементов (комбинированных электростатических и магнитных квадрупольных линз) обладает нулевой хроматической аберрацией и позволяет получить стигматичное изображение, в то время как каждая линза в отдельности астигматична. В одной плоскости линза фокусирует пучок, в перпендикулярной - рассеивает.Для получения ахроматического режима напряжение ь и ампер-витки возбуждения и/ линзы должны быть связаны между собой следующим соотношением где т и в - масса покоя и энергия заной частицы; С - скорость света; гврадиусы апертуры электростатической нитнои линз 1 расстояние от оптическои оси до электрода или полюса); К - коэффициент, зависящий от формы электродов и полюсов 1 прп Гипероолических полюсах Кв = Куп = 1), Распределения электрического и магнитного полей вдоль оси должны быть одинаковы, а эффективные длины линз равны.Линзы соосны и повернуты одна относительно другой на 90, так что плоскость фо кусировки одной линзы совпадает с плоскостью рассеивания другой, и наоборот. Прп соответствующем подборе режимов и расстоянии между линзами можно добиться, чтобы линза фокусировала во всех плоскостях и да вала точное изображение точечного источника, Причем между геометрическими и электрическими параметрами установлены следующие соотношения:12 д гд 1 Ф - 1 1,а ггг 1,б -10 в которых: 2 Ке 1 гг 11 =е 0,8 в К,(пУ) 1 г=1; 2 Предмет изобретения Составитель В. А. Богданова Редактор Н. Джарагеттп Техрсд А. А. Камышникова Корректоры; В. П. Федулова и Е. Д. КурдюмоваЗаказ 819119 Тираж 535 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр, Серова, д. 4Типография, пр, Сапунова, 2 Ь и гг - эффективные длины линз; а и д - расстояния от предмета до первой линзы и от второй линзы до изображения соответственно; 5 - расстояние между линзами (все расстояния отсчитываются с учетом эффективных длин линз); т и в - масса покоя и энер гия заряженной частицы; С - скорость света;и гг, - радиусы апертуры электростатической и магнитной линз (расстояние от оптической оси до электрода или полюса); К - коэффициент, зависящий от формы электродов и полюсов (при гиперболических полюсах Ке =К=1); - - У - напряжения на электродах линзы; и - количество ампер- витков на один полюс г-ой линзы.Увеличение, создаваемое предлагаемой системой, в разных плоскостях разное,Ахроматический анаморфотный дублет для фокусировки заряженных частиц из квадрупольных линз, повернутых одна относительно другой на 90, отличающийся тем, что, с целью обеспечения одновременно стигматического и ахроматического режимов, в дублете используются ахроматические комбинированные квадрупольные линзы, причем между геометрическими и электрическими параметрами системы установлены следующие соотношения: 2 2 гГT в гту 2 аге 15 Ь и д - эффективные длины линз;аид - расстояния от предмета до первой линзы и от второй линзы до изображения соответственно; 5 - расстояние между линзами (все расстоя ния отсчитываются с учетом эффективных длин линз); т и е - масса покоя и энергия заряженной частицы; С - скорость света; тв и г - радиусы апертуры электростатической и магнитной линз (расстояние от опти ческой оси до электрода или полюса); К - коэффициент, зависящий от формы электродов и полюсов (при гиперболических полюсах Кю = К , = 1); +Уг - напряжения на электродах линзы; ггпу - количество ампер-вит- ЗО ков на один полюс г-ой линзы.