ZIP архив

Текст

ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Свез Советских Социалистических Республиксимое от авт, свидетельствааявлено ЗО.Х.1964 ( 931259/25-8присоединением заявкил, 47 д 19 О МПК Г 061 т.УДК 621.646,986(08 итет Комитет по деламбретеиий и открытийи Совете МииистраеСССР Х.966. Бюллетень11 ния описания 27 Л 11,196 публикова Дата опублик т,в А. Абуко обретения Заявител ПЛАСТИНЧАТЬЙ ЗАТВОР ДЛЯ ПЕРЕКРЫТИЯ ЧАСТИАКУУМНО 1 КАМЕРЬ ОТ ПОПАДАНИЯ В НЕЕ ПАРОВВЕЩЕСТВ ощиися в ы б, дойвать вторемещает р закры- имающейания.повысить тх путем ген дмет и ываемыи затвор; фиг. 1; на фиг,на фиг, 4 - раз а 1 (см. фиг, 2), оси 3 с шестерряженной с шесжно соединенных воздействиемся вместе с ластиной б. Известны пластинчатые затворы для перекрытия части вакуумной камеры от попадания в нее паров веществ, содержащие подвикно сочлененные между собой и расположенные в корпусе пластины.В описываемом затворе для полного перекрытия потока испаренного в вакууме вещества пластины подвижно соединены между собой при помощи усиков, выполненных на каждой пластине и входящих в дугообразные газы соприкасающихся пластин. Пластины установлены на общей оси веерообразно таким образом, что одна из них жестко связана с осью, имеющей шестерню, сопрякенную с подпружиненной рейкой, приводимой в дви. жение толкателем.На фиг. 1 изображен описна фиг, 2 - разрез по А-А на3 - разрез по Б-Б на фиг, 2;рез по В-В на фиг, 1.Затвор состоит из корпусограничительного кольца 2,ней 4, зубчатой рейки 5, соптерней. и пластин б, подвимежду собой.При перемещении рейки б подтолкателя 7 ось 3 поворачиваетзакрепленной на ней первой п Усик 8 этой пластины, перемеща дугообразном пазу 9 второй пластин дя до конца паза, начинает поворачи рую пластину б, усик которой пе следующую пластину и т. д. Затво вается прп помощи пружины 10, сж ся во время прямого хода - открывОписываемый затвор позволяет качество тонких пленок, получаемь 0 напыления в вакууме. Пластинчатый затвор для перекрытия части 1 вакуумной камеры от попадания в нее пароввеществ, содержащий подвижно сочлененные между собой и расположенные в корпусе пластины, отличающийся тем, что, с целью полного перекрытия потока испарепного в вакуу ме вещества, пластины затвора подвижно соединены между собой при помощи усиков, ыполненных на каждой пластине и входящих в дугоооразные пазы соприкасающихся пластин, и установлены веерообразно на общей осп таким образом, что одна из них жестко связана с осью, имеющей шестерню, сопрякенпую с подпружиненной рейкой, приводимой в движение точкателем.Составитель 1 О, Буянов Редактор Н. Джарагетти Техред Г. Е. Петровская Корректоры: Г, Е. Опарина и Е. М. Коврижкина Заказ 1940/5 Тираж 1325 Формат бум. 60 Х 90/8 Объем 0,13 изд. л. ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова, 2

Смотреть

Заявка

931259

МПК / Метки

МПК: F16K 1/16, F16K 31/54

Метки: 182456

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-182456-182456.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">182456</a>

Похожие патенты