Устройство для определения величины внутреннего трения дисков

(5)5 6 01 08, 3/32 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) НОЕ АНИ РЕТЕН К АВТОРСКО ВИДЕТЕЛЬС ОСО(71) Киевский государственный университет им.Т,Г.Шевченко(72) П.А,Максимюк, Н,Н.Новиков и В,А,Глей (56) Баранов В.М, Оп ределение констант упругости материалов, имеющих форму диска. Заводская лаборатория, 1972, В 9, с.1120- 1122.Вогбоп Р.У. етз, Веахатоп о 1 (осабор и соорег. - Йооча сп)епто, 1959, чЛ 4, р, 273-302.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ВНУТРЕННЕГО ТРЕНИЯ ДИ- СКОВ(57) Назначение: неразрушающий контроль дисков, например кремниевых, методом внутреннего трения. Сущность изобретения; в устройстве для определения внутреннего трения, содержащем систему электростатического возбуждения и приема упругих колебаний диска (1), последний закрепляется в центре с помощью точечной электропроводящей опоры (5) и пружинного зажима (4) с конусным наконечником, поджимающего диск к опоре, Такое закрепление обеспечивает возможность перехода с одной частоты возбуждения на другую на низших соседних гармониках без изменения места закрепления и исключение приборных потерь, 1 ил,1810798 го сигнал в заданном интервале амплитуд, определяются частота собственных колебаСоставитель Н.НовиковТехред М,Моргентал Корректор С.Пекарь Редактор Т,Иванова Заказ 1442 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к области микрорадиоэлектроники, в частности, производству интегральных схем и их неразрушающему пооперационному контролю.Цель изобретения состоит в увеличении точности и снижении трудоемкости испытаний путем выполнения дифференциальных измерений на разных частотах при возможности экспрессной замены дисковых образцов.На чертеже представлено предлагаемое устройство,Устройство содержит образец (диск) 1, емкостный датчик возбуждения и приема колебаний 2, корпус 3 держателя образцов, пружинный зажим 4 с конусным наконечником, точечную электропроводящую опору 5,.Образец зажат между зажимом 4 и опорой 5 и через опору и корпус заземлен, Высокочастотный сигнал, возбуждающий колебания диска, подается на емкостной датчик возбуждения и приема колебаний 2 от генератора ГЗА. Анализ возбужденных в диске упругих колебаний производится с помощью приборов: измерителя девиации частоты СК 3-46, частотомера ЧЗи осциллографа С 1-74.Устройство работает следующим образом.Высокочастотный сигнал от генератора ГЗА подается на датчик возбуждения 2 и исследуемый диск 1, возбуждая в нем при совпадении его частоты с собственной частотой колебаний диска резонансные упругие собственные колебания, При этом изменяется являющаяся частью емкости колебательного контура емкость конденсатора, в качестве одной из обкладок которого используется диск, а второй - датчик возбуждения и приема колебаний. Модулированное колебаниями диска напряжение генератора поступает на измеритель девиации частоты СК 3-46, а затем на усилитель, где происходит выделение и усиление низкочастотной составляющей сигнала, Далее с помощью частотомера ЧЗосциллографа С 1-74 и дискриминатора, пропускающений диска и логарифмические декрементызатухания, Вакуумирование корпуса осуще 5 ствляется до давлений не хуже 10 торр, таккак уже при таком давлении отсутствует зависимость декремента затухания от степениразрежения,Экспериментальная проверка эаявляе 10 мого устройства показала, что она обеспечивает высокую точность при бесконтактном.экспрессном определении величин внутреннего трения в полупроводниковых дисках. На одно измерение с помощью15 заявляемого устройства тратилось 2-3 минпри работе одного лаборанта. Например, наодном из дисков кремния диаметром 60 ммна первой гармонике (частота 832 + 1 Гц)величины декремента затухания составила20 (6,0 + 0,3) 10 , а на второй (частота 2069 + 1Гц) - (2,1 + 0,1) 10, Разность декрементовзатухания составила 3,9 10 и была обусловлена наличием в образце ростовых уислокаций с плотностью около 2 10 смТаким образом, использование заявляемого изобретения позволяет измерить величину внутреннего трения кремниевыхдисков с точностью примерно в 100 разбольшей, чем это до сих пор вообще пред 30 ставлялось возможным. Такая точность и является необходимой для выполненияпроизводственного контроля влияния различных физических факторов на заготовкиизделий микроэлектроники,Формул а изобретенияУстройство для определения величинывнутреннего трения дисков, содержащее систему электростатического возбуждения иприема упругих колебаний исследуемого40 диска и держатель диска, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения точности иснижения трудоемкости испытаний, держатель выполнен в виде соосно установленныхточечной электропроводящей опоры и пру 45 жинного зажима с конусным наконечником,служащего для поджатия диска к опоре в егоцентре,