Диффузионный насос

(56) Авторское свидетельство СССРМ 1525343, кл, Е 04 Е 9/00, 1988,(54) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС(57) Использование: в вакуумной технике. Сущность изобретения: в корпусе,. частично заполненном жидкостью, размещены по оси паропровод с соплом, нагреватель и источник напряжения, подключенный одним Изобретение относится к вакуумнойтехнике и позволяет увеличить скорость откачки и снизить потери энергии на нагреврабочей жидкости,Цель изобретения - увеличение скорости откачки и снижение потерь энергии нанагрев рабочей жидкости,На чертеже изображен продольный разрез диффузионного насоса.Диффузионный насос содержит корпус1, частично заполненный жидкостью 2, размещенные в нем по оси паропровод 3 ссоплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу 1. Насос снабжен полым кольцом 8 ссегментообразным профилем, обращенным своей хордой к соплу с перфорированными в нем отверстиями 14, Паропровод 3снабжен диэлектрической вставкой 9, аэлектрод 10 источника 6 напряжения подключен к соплу 4, Насос содержит такжевходной патрубок 11, выходной патрубок 12,рубашку 13 охлаждения, теплоизолирующую крышку 15,.Я 2 1800140 А 1 электродом к корпусу, другим к соплу. Между корпусом и паропроводом установлено кольцо, В верхней части паропровода размещена диэлектрическая вставка. Оси симметрии профилей кольца и сопла в продольном сечении размещены на одной линии. Теплоизоли рующая кры ш ка выполнена в виде прямоугольного усеченного конуса, скрепленного с паропроводом в нижней его части, Кольцо выполнено полым с сегментным профилем, обращенным хордой к соплу, и снабжено перфорированными отверстиями, 1 ил,Диффузионный насос работает следующим образом. После предварительной откачки форвакуумным насосом (не показан) включается нагреватель 5. Жидкость 2 доводится до кипения. Давление паров жидкости 2 в сопле 4 в несколько раз больше, чем давление газа внутри насоса, Пары жидкости 2 истекают из сопл 4 в виде сверхзвуковой струи. На пути потока пара установлено кольцо 8 с перфорированными в нем отверстиями, Струя расслаивается на отдельные струи, количество которых и их направление определяется количеством и направлением перфорированных отверстий,При прохождении через перфорированные отверстия площадь пространства между корпусом и паропроводом, охватываемая струями пара, увеличивается, а скорость струй (за счет потерь энергии при прохождении через отверстия) становится дозвуковой. Увеличение площади пространства, охватываемой струями пара, способствует повышению коэффициента эжекции и уве1800140 от откАци 3 оамоо Яъакта ткочка личению скорости откачки, Приложение потенциала позволяет создать дополнительное движение паров жидкости 2 на стенку корпуса 1. Это поддерживает скорость струи на уровне, близком к звуковой и предотвращает обратную диффузию паров в откачиваемый объем, Величина потенциала выбирается такой, чтобы не происходило полимеризации рабочей жидкости, Откачиваемый газ, проходя через входной патрубок 11, диффундирует в струю пара. Пар, попадая на охлаждаемые стенки корпуса 1, конденсируется, стекает в нижнюю часть корпуса 1, Откачиваемый газ, обтекая теплоизолирующую крышку 15, удаляется в выходной патрубок 12, При этом, поскольку отсутствует непосредственный контакт откачиваемого газа с кипящей поверхностью рабочей жидкости, снижаются потери энергии на ее нагрев, Теплоизолирующая крышка выполнена в виде усеченного корпуса для стекания конденсата с ее поверхности, а также для увеличения скорости прохождения паров рабочей жидкости по паропроводу, что при повороте потока в соплах приведет к повышению давления в них(имеет место переход кинетической энергии в потенциальную), а значит и увеличит энергию истекающей из сопл струи пара, что в свою очередь будет способствовать повышению коэффициента эжекции.5 Формула изобретения Диффузионный насос, содержащий корпус, частично заполненный жидкостью, размещенные в нем по оси паропровод с 10 соплом, нагреватель и источник напряжения, подключенный одним электродом к корпусу, а другим - к соплу, между корпусом и паропроводом установлено кольцо, в верхней части паропровода размещена диэлек трическая вставка, а оси симметриипрофилей кольца и сопла в продольном сечении размещены на одной линии, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения скорости откачки и снижения потерь энер гии на нагрев рабочей жидкости, насосснабжен теплоизолирующей крышкой, выполненной в виде прямоугольного усеченного конуса, скрепленного с паропроводом в нижней его части, а кольцо выполнено 25 полым с сегментным профилем, обращенным своей хордой к соплу, и снабжено перфорированными отверстиями,