Термопреобразователь
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1798821
Автор: Шмырева
Текст
)5 Н 01 С 7/О ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) НТНОЕ ОПИСАН ЗОБРЕТЕН ЬСТВУ ВТОРСКОМУ СВИЛ(71) Киевский политехн50-летия Великой Октяческой революции(57) Испок приборвано в рных систермопррице с.куюэлементкоторыйщитное2 ил.,1 т еский институт им. рьской социалисти/02, 1987.У 02, 1982,Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано е различных контрольно-измерительных системах.Целью изобретения является увеличение чувствительности и поверхностного со-. противления,Ха фиг.1, 2 схематически изображен предлагаемый термопреобразователь.Термопреобразователь содержит под" ложку 1, например, из поликора, на которую нанесен буферный слой, например, молибдена 2 и слой никеля с добавкой 3-5 мас,ф гадолиния - 3. Поверхность пленки 3 защищена пассивирующим слоем 4 (А 1 Й или АЬОз). К контактным площадкам 5 и 6 подсоединены электрические выводы 7 и 8,Такой прибор может быть изготовлен следующим образом. На подложку, например, из поликора, методом электронно-лучевого испарения наносят последовательно слои буферного материала 2, например, молибдена толщиной 30 нм, и никеля с добавкой 3-5 мас.гадолиния 3 при температуре подложки 200 С. Режим распыления: напряжение 12 кВ, ток - 180 мА. Затем мето.,Ж 1798821 ОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬльзование: изобретение относится остроению и может быть использоазличных контрольно-измеритель- темах, Сущность изобретения; еобразователь содержит диэлектподложку, термочувствительный иэ материала на основе никеля, в включена добавка гадолиния, запокрытие и электрические выводы. абл. дом фотолитографии создают заданную а топологию термопреобразователя. Через маску на чувствительный участок термопреобразователя напыляют тем же методом защитный слой А 20 з - 4. При этом контактные площадки 5 и 6 не покрывают защитным слоем 4, После скрайбирования подложки на отдельные образцы - термопреобразователи к контактным площадкам 5 и 6 присое- в диняют электрические выводы 7 и 8, например, пайкой припоем или вжиганием ) никелевой или серебряной пасты, рПрибор работает следующим образом, Под действием изменения температуры происходит изменение сопротивления термопреобразователя, что регистрируется цифровым омметром типа В 7-35 или с помощью стандартных электронных схем переводится в цифровой код, высвечиваемый а на жидкокристаллическом индикаторе, в соответствии с измеряемой температурой.Легирование пленок никеля гадолинием, имеющим в три раза больший по сравнению с никелем атомный объем и электронную конфигурацию 4 5 б 63 (902), приводит к повыаению фононных колебаний решетки и, 1798821. следовательно, к повышению чувствительности при одновременном росте поверхностного сопротивления, Введение 3-5 мас. гадолиния обусловлено следующими причинами, При содержании гадолиния менее 3 по массе росС чувствительности не происходит, а при превышении 5 мас.ухудшаются механические свойства пленки никеля.Конкретные примеры на минимальное, оптимальное и максимальное содержание . гадолиния и соответствующие значения чувствительности, поверхностного сопротивления и механической прочности приведены в таблице.Вышеперечисленные факторы позволили повысить чувствительность в два раза (0,8 Ом/град) и поверхностное сопротивление в 5 раз (10 Ом/квадрат).Применение предлагаемых термопреобразователей позволяет создать высоконадежные, чувствительные контрольно-измерительные приборы: датчики температуры, расходомеры жидкостей и газов, уровнемеры и повысить эксплуатационные характеристики автоматизированных 5 систем управления, в которых они будутприменяться. Формула изобретения Термопреобразователь, содержащий 10 диэлектрическую подложку с последовательно размещенными на ней пленочным термочувствительным элементом, выполненным из материала на основе никеля с легируащей добавкой, защитное покры тие и электрические выводы, о т л и ч а ащ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности и расширения диапазона величин удельного поверхностного сопротивления, в качестве легирующей 20 добавки использован гадолиний; содержание котороо составляет 3-5 мзс.%,
СмотретьЗаявка
4876522, 19.10.1990
КИЕВСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. 50-ЛЕТИЯ ВЕЛИКОЙ ОКТЯБРЬСКОЙ СОЦИАЛИСТИЧЕСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ
ШМЫРЕВА АЛЕКСАНДРА НИКОЛАЕВНА
МПК / Метки
МПК: H01C 7/02
Метки: термопреобразователь
Опубликовано: 28.02.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1798821-termopreobrazovatel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Термопреобразователь</a>
Предыдущий патент: Электрический ввод во взрывобезопасное оборудование
Следующий патент: Датчик температуры
Случайный патент: Магнитоэлектрический измерительный прибор с астатической системой из двух подвижных магнитов