Способ изготовления деталей

,г-" (Е).А2 ТВУ ститут линние инстртродом. Моис 3 Г)ДЕТАЛЕЙзионное ирофилиро ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(57) Использование; электроэроготовление точных деталей не Изобретение относится к машиностроению, в частности к электрическим методам обработки токопроводящих материалов, и может быть использовано для электроэрозионного вырезания непрофилированным электродом-инструментом мембран датчиков давления из кремниевых пластин.Целью изобретения является расширение технологических возможностей способа за счет повышения .уровня . миниатюаризации изготавливаемых деталей из токопроводящих пластин,На фиг,1 показана обрабатываемая деталь, разрез; на фиг,2 - то же, план.На лицевых сторонах обрабатываемых пластин 1 предварительно изготавливают канавки 2 по траектории контура вырезаемых пластин 3. Далее при помощи непрофилированного электрода-инструмента 4 производят электроэрозионную. вырезку этих контуров по дну канавок 2.Формирование канавки в зоне реза с планарной стороны позволяет устранить ванным электродом-инструментом, Сущность изобретения: на поверхности детали по длине вырезаемого контура предварительно формируют канавки, ширина которых в 1,5 - 2,0 раза превышает диаметр электрода-инструмента. а ее глубина превышает 50 мкм. Электроэрозионную вырезку производят по дну данной канавки, чем исключется образование наплывов от электроэрозионной обработки на лицевой стороне детали. 1 з.п, ф-лы, 2 ил. появление дефектной зоны на планарнойстороне вырезаемой микродетали,Это обусловлено тем, что при электроэрозионном резании материала движущейся электрод-проволокой в зоне резапроисходит вытеснение материала обрабатываемой пластины из зоны реза на краяпластины, способствуя образованию наплыва материал (Образования окисла кремнияпри вырезке мембран из кремниевых пластин) на рабочей стороне пластины, Наличие предварительной канавки исключает Опопадания наплыва материала нэ рабочую СОповерхность микродетали, Это позволяет ( )изготавливать микродетали датчиков с вы- ,соким качеством рабочих поверхностей. рВырезка микродетали по дну канавкиобеспечивает максимальную производительность вырезки при сохранении качества йсмежной вырезаемой микродетали. Формирование канавки на пластине путем травления обеспечивает высокую точность ипроизводительность,1798068 а 7 иг. 8итель А.Цапул М.Моргентал Сос Тех Редактор Л.Наро Корректор И,Шмакова аказ 737 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж. Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 Геометрические размеры канавки по поперечному сечению выбраны из технологических соображений исходя из требований миниатюризации вырезаемой детали,П р и м е р, Круглые мембраны вырезаают из кремниевой пластины 1 (фиг,1) толщиной 300 мкм на электроэрозионной установке А 287. Перед вырезкой мембран 3 в зоне реза на пластине формируют травлением канавки 2 глубиной 50 мкм и шириной 50 мкм. Диаметр проволоки-электрода 25 мкм, После формирования канавок проводят вырезку мембран 3 электрод-проволокой 4 по дну канавок 2. Канавки формируют на планарных (рабочих) сторонах пластин, где недопускается наличие дефектных зон. по краю реза,Положительный эффект заключается в повышении уровня микроминиатюризации .вы реза емых деталей. До пол нител ьным пре- г имуществом является повышение производительности вырезки тонких микродеталейза счет уменьшения поперечного сечениядетали в зоне реза.5 Формула изобретения1, Способ изготовления деталей, включающий электроэрозионную вырезку контуранепрофилированным электродом-инструментом и устранение дефектов электроэро 10 зионной вырезки, от л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью расширения технологическихвозможностей, предварительно на поверхности детали по длине контура формируютканавку, ширина которой превышает диа.15 метр электрода-инструмента, а вырезкупроизводят по дну этой канавки,2. Способ по п,1, б т л и ч а ю щ и й с ятем, что канавку формируют шириной, равной, 1,5 - 2,0 диаметрам электрода-инстру 20 мента, и глубиной более 50 мкм,