Измерительный зонд
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1783597
Автор: Брикман
Текст
)5 ЕТ бъ оиэводствеибор" ьство СССР /66, 1981.р. Методы контроля ва полупроводникогия, 1973, с. 45-46. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ%974463, кл, Н 01 1.21Концевой Ю.А. и дтехнологии производствых приборов. М,; Энер Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительных устройствах для исследования и контроля МДП-структур в процессе обработки полупроводниковых пластин.Известны конструкции измерительных устройств, позволяющие производить указанные измерения, содержащие контактное устройство и излучатель, например, инфракрасный, импульсы которого воздействуют на исследуемую зону полупроводниковой пластины с нанесенным цинк-галлиевым сплавом, взаимодействующим с контактной иглой. Однако такие измерительные устройства имеют низкую производительность из-мерений вследствие необходимости нанесения на пластину сплава в каждой зоне измерений.Известны также сканирующие измерительные ртутные зонды, снабженные диэлектрическим диском со сквозным аксиальным капилляром, заполненным ртутью, которая позволяет сформировать на поверхности исследуемой структуры полупроводниковой пластины плоский ртутный контакт с пло(54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ЗОНД(57) Изобретение предназначено для измерения физических и фотоэлектричеких параметров полупроводниковых материалов, Сущность изобретения; в корпусе установлены диэлектрический диск со сквозным аксиальным капилляром, заполненным ртутью и источник оптического излучения, причем диск выполнен из оптически прозрачного материала и расположен над источником излучения. Над диском расположен твердотельный электрический контакт, 1 ил. щадью, близкой к площади сечения капилляра, Недостатком этого устройства является то, что несмотря на высокую С производительность измерений, невозможным оказывается исследование парамет- Б ров, связанных с фотоэлектрическими измерениями.иЦель изобретения - создание высокопроизводительного измерительного зонда для исследования параметров полупроводниковых пластин, в том числе фотоэлектри- ф ческих.ИПоставленная цель достигается тем О что в отличие от известногоизмерительного прибора, содержащего контактную иглу, касающуюся наносимого при каждом измерении на пластину цинк-галлиевого сплава, и инфракрасного излучателя, воздействующего на исследуемую зону полупроводниковой пластины, в предлагаемом измерительном зонде используется диэлектрический прозрачный диск с капилляром для подачи ртути в зону измерений, причем через прозрачный диэлектрический диск осуществляется воздействие инфракрзсно1783597 Составитель Б.БрикмаТехред М.Моргентал Редактор Т,Шагов орректор М.Тка аказ 4520 ВНИИПИ Гос ж Подписноеомитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС осква,Ж, Раушская наб., 4/5 вен ног 113035 тельский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 101 роизводственн го излучателя на кромку контактной площадки, образуемой ртутью.На чертеже изображен предполагаемый ртутный зонд.Измерительный ртутный зонд состоит из установленного в корпусе 1 светопрозрачного диэлектрического диска 2, в котором расположен аксиальный капилляр 3, заполненный ртутью 4, механизм перемещения ртути, включающий заполненную ртутью емкость 5, сообщающуюся с капилляром 3, к которой прилегает упругая мембрана 6 и электрический вывод 7, контактирующий с . ртутью, Зонд содержит установленный в корпусе 1 источник света, например, инфракрасный излучатель 8, расположенный с противоположной стороны светопрозрачного диска относительно плоского металлического контакта 9, расположенного над рабочей поверхностью диска, При этом излучатель 8 установлен таким образом, чтобы обеспечивалось воздействие излучателя на кромку образуемого ртутью контакта на поверхности полупроводниковой пластины,Измерительный зонд работает следующим образом.Исследуемая пластина зажимается между поверхностями светопрозрачного диэлектрического диска 2 и плоского метал лического контакта 9 так. чтобы исследуеЯ мый участок пластины оказался в месте капилляра 3, После подачидавления на мембрану 6 ртуть перемещается по капилляру 3 до обеспечения электрического кон такта с поверхностью исследуемойпластины. При подаче соответствующих параметров напряжения на плоский контакт 9 и электрический вывод 7 можно производить измерение физических параметров участка 10 кремниевой пластины. После подключенияисточника света 8 становится возможным измерение фотоэлектрических параметров пластины,15 Формула изобретенияИзерительный зонд, содержащий корпус, источник оптического излучателя, жидкостной и твердотельный электрическиеконтакты, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с20 целью повышения быстродействия измерений, зонд дополнительно содержит диэлектрический диск, расположенный в верхнейчасти корпуса и выполненный из прозрачного для оптического излучателя материала,25 жидкостной контакт выполнен в виде капилляра, созданного в диэлектрическом диске,заполненного ртутью, а источник оптического излучателя и твердотельный контактрасположены по разные стороны диэлект 30 рического диска,
СмотретьЗаявка
4893633, 25.12.1990
ЛЕНИНГРАДСКОЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ЭЛЕКТРОНПРИБОР"
БРИКМАН БОРИС СОЛОМОНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: зонд, измерительный
Опубликовано: 23.12.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1783597-izmeritelnyjj-zond.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Измерительный зонд</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления балочных упругих элементов
Следующий патент: Способ определения полярности электрической оси в пьезокристаллах
Случайный патент: Клапанная тарелка