Способ регулировки емкости микропленочного

Номер патента: 177989

Автор: Израйлев

ZIP архив

Текст

ОПИСАН ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ1 УУФ 89 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельствая. 21 д, 10 о 1 аявлено 06.11,1965 ( 942184(26-9присоединением заявкиКомитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Министров СССРМПК Н 01 дУД К 621.523:621,8 (088.8) ПриоритетОпубликовано 08.1,1966, БюллетеньДата опубликования описания 16.П.19 Авторизобрете С. Израйлев аявитель ПОСОБ РЕГУЛИРОВКИ ЕМКОСТИ МИКРОПЛЕНОЧКОНДЕНСАТОРА юором и по достпж трафарет автоматич Известные способы регулировки емкости микропленочных конденсаторов, основанные на изменении площади верхней обкладки конденсатора постепенным ее сцарапыванием под микроскопом, характеризуются недостаточно точной подгонкой емкости под номинал (не выше +20%) и не дают возможности автоматизировать процесс регулировки.По предлагаемому способу точность подгонки емкости конденсатора под номинал повышается благодаря управлению подвижным трафаретом при одновременном контроле величины емкости в процессе напыления.На чертеже приведена схема установки с подвижным трафаретом для пояснения описываемого способа.В вакуумной камере 1 на основании 2 укрепляют подложку 3. Трафарет 4 перемещают по отношению к подложке с помощью двига 2теля 5 с редуктором (на чертеже не указан). Через щель 6 на подложку наносят пленку металла от испарптеля 7.Емкость измеряют пр енин заданного значения ескп останавливают.Предмет изобретенияСпособ регулировки емкости микропленочного конденсатора, изготовляемого напылением в вакуумной камере, основанный на изменении площади одной нз обкладок конденсатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности подгонки емкости конденсатора под номинал и упрощения автоматизации процесса подгонки, площадь обкладки конденсатора регулируют, управляя подвижным трафаретом при одновременном контроле величины емкости в процессе напыления.177930Составитель В. Агапов едактор Л. А. Ильина Текред Т. П. Курилко Корректоры; Е. Д. Курдюмоп О. И. Попо Заказ 208/5 Тираж 1475 Формат бум. 60 Х 90/8 Объем 0,13 изд, л. Подпис ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СС Москва, Центр, пр. Серова, д. 4СапчноТипография,

Смотреть

Заявка

942184

Ю. С. Израйлев

МПК / Метки

МПК: H01G 4/255, H01G 4/33

Метки: емкости, микропленочного, регулировки

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-177989-sposob-regulirovki-emkosti-mikroplenochnogo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ регулировки емкости микропленочного</a>

Похожие патенты