Номер патента: 1751400

Автор: Тятюшкин

ZIP архив

Текст

(яи ГО 2 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР . 1(71) Омское научно-производственное объединение микрокриогенной техники(57) Использование: получение и поддержание высокого беэмасляного вакуума в технологическом оборудовании. Сущност бретения; крибнасбс содержит встро в корпус 1 двухступенчатый криоген 2, на первой ступени которого закр теплозащитный экран 3, а, на вто криопанель 4, Соединение криопа с второй ступенью кзиогенератора 2 ствлено при помощи теплопровода 5, щего контакт с криопанелью 4 в ее на удаленной части от входного отверс рана 3. 1 ил. ь изоенный ератор еплен рой - нели 4 осуще- имеюиболее тия эк1751400 Составитель И,КиснерРедактор Т.Лазоренко Техред М,Моргентал Корректор М,Ткач Заказ 2674 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 475 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 Изобретение относится к вакуумнойтехнике, в частности к устройствам дляполучения безмасляного сверхвысокоговакуума, использующим принципом криоконденсации илй криоадсорбции различных газов на поверхностях, охлажденных докриогенных температур.Целью изобретения является улучшение откачных характеристик,Поставленная цель достигается тем, что 10в-вакуумном крионасосе, содержащемкорпус с .входным патрубком, встроейнымдвухступенчатым криогенератором, размещенным в корпусе теплозащитным экраном, закрепленным на первой ступени 15криогенератора, и расположейную вйутриэкрана криопанелью, закрепленной навторой ступени криогенератора при помощитеплопровода, последний соединен с криопанелью в ее наиболее удаленной от входного патрубка части,На цертеже приведена схема предлагаемого.вакуумного крионасоса.Крионасос содержит корпус 1, встроенный двухступенчатый криогенератор 2, на 25охлаждаемых фланцах которого установлены теплозащитньй экран 3 и криопанель 4,соединенная с охлаждаемым фланцем второй ступени криогенератора теплопроводом 5.30Крионасос работает следующим образом,Криогенератор 2 охлаждает теплозащитный экран 3 до 60 - 90 К и криопанель 4через теплопровод 5- до 15-20 К, При этом 35на экране конденсируются пары воды, углеводороды, углекислый газ, Остальные ком 1поненты откачиваемой среды, за исключением неона, водорода ителия, конденсируются на криопанели 4.Давление конденсирующегося на криопанели газа максимально в области входного отверстия экрана и минимально в зоне периферийного участка криопанели. Так как теплопровод 5 подсоединен к криопанели 4 в ее части, наиболее удаленной от входного отверстия экрана, то периферия криопане- ли имеет мийимальную температуру, а ее часть, обращенная к откачиваемому объему - максимальную температуру.Откацивающая структура организована так, что в сецениях с более высокой температурой криопанели соответственно выше и давление откачиваемого газа, находящегося над криопанелью, Это обеспечивает более равномерное расйределение степеней перенасыщения паров откачиваемого газа над различными участками криопанели, что улучшает эффективность откацки при низких рабочих давлениях и приводит к увеличейию быстроты действия насоса.Формула изобретения Вакуумный крионасос, содержащий корпус с входным патрубком и встроенным двухступейцатым криогенератором, размещейный в корпусе теплозащитный экран, закрепленный на первойступени криогенератора, и расположенную внутри экрана криопанель, закрепленную на второй ступени криогенератора при помощи теплопровода, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, тепло- провод соединен с криопанелью в ее наиболее удаленной от входного патрубка части.

Смотреть

Заявка

4841787, 18.06.1990

ОМСКОЕ НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ МИКРОКРИОГЕННОЙ ТЕХНИКИ

ТЯТЮШКИН НИКОЛАЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04B 37/08

Метки: вакуумный, крионасос

Опубликовано: 30.07.1992

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1751400-vakuumnyjj-krionasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный крионасос</a>

Похожие патенты