Устройство для дозирования парогазовой смеси

9) ь. ) 5)5 6 01 - 13/ 1 КСА ВТОРСКО ИЕ ЕНИЯ,ц ЕТГЛ Ь гТР у вышсн е вских 1;ссса огазо" бисе сю.ей йщей и па рубк ю вы ржго м, поо ходи жидс иу.Рк 5 11 т ор,1 цихс ат одл. реа редлагаемо газовой сме Рььы 1 ял ЗО 1В камеру 3 за кость и помешают поддерживающий руемой жидкости которой заполнена - металлорганиче,хней части 2 емкотрубок 4 для овода жид тат 9,д(зй" носи ивают дозируемуюкамеру 3 в термонеобходимую дллтемпературу. Газ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТГ)О ИЗОЕРЕТЕНИЛМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОЗАНИЯ ПАР О ГАЗО ВОЙ Г. (Е С И(57) 1 зобр:.топке 6, н-си 1 сл к микоозлехтронной технике, г и,:,вино к дозирующим устр. йствам брбстажного типа дл." выдачи определенной дозь пгрогазово, смеси. Изобретение относится к м нрозлектронной тех,ыке, а именно к до.:игующим усто:ствам бгрбо; а киогс типа д,л выдачи опредоле)ной дозы парогазовой смеси на Основе металлоргг нивских соединений для эпитаксиэльн-.го процес:а.Целью изобрете; ия является повышение точности дозирования мЬталлорггниче скйх соединений для зиитаксисльного процесса за счет повышения однородности парогазовой смеси (П ГС).ажено п вния пгро На черте)ке изобрустройстео для получесгермечная амера 3дозируемой жидкостьски". соединением. В всти 1 расположены и Целью изобретения является тсчности дозцрооанил метзллор соединений для зпитаксиальног эа счет повышения однородност вой смеси. Газ-носитель через т пористую вставку 7, выпслненн не более 2 мм из пористой ие стали с размерами иор 10-15 мк через налитую в камеру 3 дозир кость о виде мелких неслипаю эырьков и гоступает челез п отвода парогазовой смеси, р;тан крышке герметичной камеры 3. в ил. газа-носителл и пгтрубок 5 для вывода иврогазовой смеси, прикреплснный к крышке герметичной камеры 3. Ьерхил часть 2 емкости 1 сообщена с камерой 3 трубкой б длл подвода газа-)осителя. Трубка б погру кена в дозируемую жидкость. Иэ конце трубки б выполнена колььевал вставка 7 из порисгсй нержавеющей стали, а торец 6 трубки б заглушен. Верхняя часть 2 емкости 1 и камела 3 равны по объему, камера 3 помещена в термастат 9. Все детали устройстоа, контактирующие с метэллорганическим соединением, изготовлены из нержаве:ощед стали.Ус) ройсгво работает слсдуюш, ", оц 1 э4 1707478 оставитель З.Крнсанохред М,Моргентал Редактор Т.Ивано Корректор О.ципле Заказ 261 Ср 3 едг;1 ь. ь,. 1 г Т лнз3 ь г (13055, зусоскаа, лу Прои зеодотееино-издательский комбинат "Патент, г. ужгород, ул, Гагарина. б тель через патрубок 4 поступает сначала в верхнюю часть 2 емкости 1, затем в трубку 6 и проходит через пористую вставку 7 на конце трубки б в дозируемую жидкость, Далее насыщенный веществом газ-носитель выходит из камеры 3 через патрубок 5 и поступает в реактор эпитаксиального наращивания.Устройство относится к барботажным доэаторам, в которых ПГС получают путем пропускания газа-носителя через слой испаряемого вещества. Степень насыщения газа-носителя зависит от степени измельчения пузырьков газа, для чего вставка выполнена из пористой нержавеющей стали с размерами пор 10-15 мкм, и его расхода через дозатор. Высота пористой вставки трубки выполнена минимально возможной (2 мм) по двум причинам: во-первых, насыщение пузырьков газа парами жидкости не должно зависеть от высоты столба жидкости внутри доэатора, во-вторых, протяженность рабочего участка приводит к коалисценции (слипанию) пузырьков. При выделении пузырьков газа с вертикально расположенной стенки трубки торец трубки заглушен) уменьшается вероятность их слипания. Поскольку пузырьки образуются мелкие, то и насыщение гзэа-носителя парами жидкости происходит эр гчитсльно быстрее. Поэтому при снижении уровня жидкости насыщение газа ее парами не ме- л няется, Кроме того, уменьшение размеровпузырьков приводит к снижению брыэгоуноса, что уменьшает дефектообраэованиенаращиваемых эпитаксиальных слоев,5 Таким образом, уменьшение размеровпузырьков и их воспроизводимость по объему обеспечивают наиболее полное насыщение газа-носителя испаряемымвеществом, а значит, стабилизацию состава10 ПГС. За счет повышения однородности кон-центрационного состава ПГС повышаетсяточность ее дозирования и вследствгле этогоулучшается воспроизводимость эпитаксиальных слоев от процесса к процессу.,15Формула изобретенияУстройстго для доэирования парогазсвой смеси, содержащее герметичную камеру для дозглруемой жидкости, в которуюопущена трубка для подвода газа-носителя,20 а в крышке герметичной кямеры установленпатрубок для отвода парогазовой смеси, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности дозировдния металлорганических соединений для эпитаксиального25 процесса з-: счет повышения однородностипарогазовой смеси, нижний конец трубкидля подвода газа-носителя заглушен и выполнен с кол;цевой вставкой из пористойнержавеющей стали с порами 10 - 15 мкм,ЗО причем высота кольцевой вставки не превышает 2 мм,Подписноемфьг;, и ьг ьлзьмдтггзтй илгьС 1 б, Гаушская наб., 4/ь