Сколотов

Номер патента: 1707478

Опубликовано: 23.01.1992

Авторы: Конончук, Сколотов

МПК: G01F 13/00

Метки: дозирования, парогазовой, смеси

...Все детали устройстоа, контактирующие с метэллорганическим соединением, изготовлены из нержаве:ощед стали.Ус) ройсгво работает слсдуюш, ", оц 1 э4 1707478 оставитель З.Крнсанохред М,Моргентал Редактор Т.Ивано Корректор О.ципле Заказ 261 Ср 3 едг;1 ь. ь,. 1 г Т лнз3 ь г (13055, зусоскаа, лу Прои зеодотееино-издательский комбинат "Патент, г. ужгород, ул, Гагарина. б тель через патрубок 4 поступает сначала в верхнюю часть 2 емкости 1, затем в трубку 6 и проходит через пористую вставку 7 на конце трубки б в дозируемую жидкость, Далее насыщенный веществом газ-носитель выходит из камеры 3 через патрубок 5 и поступает в реактор эпитаксиального наращивания.Устройство относится к барботажным доэаторам, в которых ПГС получают путем пропускания...