Способ определения рельефа поверхности

)5 60 ННЫЙ КОМИТЕТНИЯМ И ОТКРЫТИСРГОСУДАРСТ ПО ИЗОБРЕ ПРИ ГКНТ С ПИСАНИЕ ИЗОБРЕ И К АВТОР У СВИДЕТЕЛЬСТВУ вательсургии иАН БССР , АС,Ру С 89 ЛЬЕФА онтрольнот быть ис. 4 тАп 1 = авйе 1 - -2(п где ап 1 - амплитуда падаВ - коЭффициент отр сти объекта;А - используемая дл 2 - расстояние от окн на объекте; щего света;ажения поверхно на волны;а камеры до точки(56) Авторское свидетельство ССМ 1629749, кл, 6 01 В 9/023, 19(57) Изобретение относится к кизмерительной технике и може Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может найти применение для бесконтактного контроля рельефа поверхности голографическими способами,Целью изобретения является расширение класса исследуемых объектов эа счет обеспечения независимой регулировки контраста и глубинного расстояния.Изобретение осуществляютследующим образом.Объект помещат в иммерсионную каме-ру,заполненную первой иммерсионной поглощающей средой (й = п 1+ 1 х 1). Осуществляют регистрацию голографического изображения, используя в качестве опорного и предметного пучков коллимированное когерентное излучение с длиной волны Я,. Производят замену среды в камере на втордю поглощающую иммерсионную среду. (п 2 = п 2 + 1 х 2). Так же, как и при первой экспозиции, регистрируют голограмму. Попользовано для бесконтактного контроля рельефа поверхности голографическими способами. Целью изобретения является расширение класса исследуемых объектов эа счет обеспечения независимой регулировки контраста и глубинного расстояния, Объект помещают в камеру, содержащую поглощающую жидкость, освещают коллимированным пучком когерентного излучения с одной длиной волны и записывают голограмму. После этого изменяют состав поглощающей жидкости и вновь записывают голограмму. Восстанавливают интерференционную картину, по которой судят о рельефе поверхности. сле восстановления два голографических изображения интерферируют, образуя кон турную карту объекта по расстоянию между максимумами, на интерференционной картине определяют относительный рельеф, а по изменениям интенсивности в максиму- О мах и минимумах (по изменению контраста) получают информацию об абсолютном рельефе поверхности, аПосле восстановления интерферируют (у два волновых фронта с амплитудаМи, про- порциональными1696852 пп, хп - действительная и мнимая часи комплексного показателя преломления (й,),После ряда преобразований можно показать, что глубинное расстояние ЛЕ между контурами определяется ЛЕ=2 (п - п 1)В общем случае поглощающих сред показатель преломления определяется соотношением Крамерса-Кронига 23 х)бЛи - по+ Р =с Н ( 7 (1 - г )и - - ) 1 Таким образом, ЬУ. и Р являются основными параметрами. позволяющими определять как относительный, так и абсолютный рельеф поверхности.В прототипе глубинное расстояние определяется как длинами волн Л 1 и Х 2, так и показателями преломления п 1, п, задаваемыми положениями этих частот на спектральной линии, Контраст регулируется значениями коэффициентов поглощения к 1 и хг спектральной линии и соответствующими длинами волн Й и Л 2 . Таким образом, глубинное расстояние и. контраст Составитель В,БахтинТехред М,Моргентал Корректор М,Шароши Редактор А.Мотыль Заказ 4295 Тираж . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, ЖРаушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 где Й - параметр интегрирования;А, А - длины волн, определяющие интервал интегрирования;по - показатель преломления, опреде-. ляемый участками спектра в диапазоне длин волн 0, Л+Д и4, оо 1.Контраст Р интерференционной картины изменяется с толщиной поглощающего слоя и определяется соотношением определяются характеристиками лазерногоизлучения Л 1 и А 2 и жестко связаны свойствами линии поглощения.В предлагаемом способе разность п 25 п 1, определяющую глубинное расстояние,можно сделать независимой от изменениях 1-хъ которое задает падение контраста сглубиной, Если при первой экспозиции вкамере была первая жидкость, в которой10 разведен первый краситель, тогда при второй экспозиции для независимой регулировки параметров интерференционнойкартины следует использовать другую жидкость с другим показателем преломления, В15 ней должен быть растворен другой краситель или краситель может вообще не использоваться (тогда изменение контрастаполностью определяется поглощением первой жидкости). Аналогичные манипуляции с20 независимыми изменениями между экспозициями показателей преломления и коэффициентов поглощения можно производитьи с газами,Формула изобретения25 Способ определения рельефа поверхноСти, заключающийся в том, что помещаютобъект в камеру, содержащую поглощающую среду, освещают обьект коллимированным пучком когерентного излучения,30 записывают голограмму, восстанавливаютполученную голограмму, осуществляют анализ интерференционной картины и по распределению интерференционных полос изначений их интенсивностей в максимумах35 и минимумах определяют абсолютный рельеф, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюрасширения класса исследуемых объектов,освещение объекта осуществляют излучением с одной длиной волны, а при записи40 голограммы осуществляют первую экспозицию, изменяют состав поглощающей средыв камере и осуществляют вторую экспозицию,