Способ приготовления тест-объекта для растрового электронного микроскопа

(51) С 01 И 1/28 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ЕЛЬСТ о дстве М. Климовицкий зова и Н.А,Вла,8)и Фавтровыестия44,рская Л.П. электронАН СССР,Р б,технологии для электстеи нальньгх возм а счет создан тест-объектаповерхностишароообразньНа чертеж о расположенны рег х част е пока бъекта бразона сх тес заны диф ательный ционнаой 2,глерод ка На чертеж решетка 1, вслой 3 оттен с помо яющег металла,вковая пл енка 5 ая пленка с золота, Сущност аключ с посо следующ Изг ку с нГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТИРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ ПРИГДЛЯ РАСТРОВОГО Э детельство СССР01 И 1/20, 1985.ОТОВЛЕНИЯ ТЕСТ-ОБЪЕКТА ЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА Изобретение относится кприготовления тест-объектовронной микроскопии.Целью изобретения является расши авливают дифракционную решетимметричным треугольным про-.(57) Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов (ТО) для электронной микроскопии, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей ТО за счет создания на его поверхности регулярно расположенных шарообразных частицИзготавливают дифракционную решетку с несимметричным треугольным профилем зуба. На малые грани зубьев напыляют слой оттеняющего тугоплавкого металла. Далее папыляют углеродную пленку, на часть которой, покрывающую малые грани зубьев, осаждают ос.тровковую пленку золота. Отделенную реплику нагревают до температуры плавления золота а с последующим охлаждением со скоростью не менее 1000 Смин. 1 ил,филем зуба На малые грани зубьевнапыляют слой оттеняюшего тугоплавкого металла. Затем на поверхностьрешетки напыляют углеродную пленку, фна часть которой, покрывающую малые Ограни зубьев,. осаждают островковую Мпленку золота. Далее отделяют реплику файфот поверхности решетки и осуществляют СДее нагрев до температуры плавления (;Д,золота с последующим охлаждением сооскоростью не менее 1000 С/мин,В результате на оттененных участках реплики в виде штрихов Формируют- ,Ьфся шарообразные частицы золота, Темпе- д,ратура нагрева для плавления пленкизолота составляет порядка 2/3 табличного значения температуры плавлениязолота как вещества. Ограничение наскорость охлаждения обусловлено тем,16881 з 5 Гпособ приготовления тест-объекта золота и последующее охлаждение соскоростью не менее 1000 С/мин,Составитель В, Гаврюшинктор Т. Лошкарева Техред М,Диг 1 ык Корректор Л, Пилипенк Заказ 3705ВНИИПИ Государственного113035,Подпись и открыт аб д, 4 Тиражкомитета ноМосква, Жм при ГКНТ ССС ци о р к.кая оизводствецно-издат:льский комбинат "Патент", г,ужгород, ул, Гагарина,10 чго при медленном охлаждении затвердевающие частицы золота приобретают разнообразцую ограцку, це позволяющую иснользозать их в качестве элемента тест-объекта.П р и м е р, Па пог;ерхность дийракционной решетки предварительно напыляли пленку хлористо 1 о натрия толщиной до 10 нм. Затем намалую грань зуба 1 п решетки цапыля,цй спой хрома толщиной 15 цм и фрее на г:сю поверхность решетки нацепляли углеррдцрю пленку толщиной 204 МГ, На участки поверхности этой пленки, покрыгазощей малые грани зубьев, осаждали островковую пленку золота толщиной 1012 нм. Полученную реплику отделяли -, дистиллированной тзоде. Процесс отделения облегчал - ся за счет предварительцо напылеццого 20 слоя хлористого натрия, легкорастворимого в воде,Выловленную на предмет цую сетку реплику помещалн в вакуумную печь и нагревали до т .мпературы 850 С, после чего охпаждали со ско ростью 1000 С/миц.Получаемый тест-объект может быть использован це только для растровых, но и для просвечивающих электронных микроскопов. Получение регулярно рас положенцьх шариков золота позволяет контролировать праззильцость построе - ния изображения в направлении строки и кадра, исключает необходимость корректировки масштабных искажений изображения при цаклоцах образца и одновременно облапает высоким контрастомиз - за различных эмиссионньгх свойстввыбираемых материалов,1Формула изобретения для растрового электронного микроскопа, включающий изготовление диАракциоццой решетки, напыление ца ее поверхность углеродцой пленки и отделение реплики о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения функциональных возможцостей тест-объекта за счет со:здания ца его поверхности регулярнорасцоложеццых шарообразных частиц,ди 4 ракциоццую решетку изготавливаютс несцмметри гным треугольным профилемзуба, при этом перед напылением углеродной пленки ца маль 1 е грани зубьевнапыляют слой оттецяющего тугоплавкого металла, после напыления углеродной пленки на часть ее поверхности,покрывающей малые грани зубьев, осаждают островковую пленку золота, апосле отделения реплики осуществляютее нагрев до температуры плавления