Способ получения вакуума

(я)5 Е 0 ВИСЕЮЗВАЯТИТК- ТЕ;6."Я":",.".;г-с Е и) 1,"д-, -ъ АНИЕ ИЗС)БРЕТЕНИ К АВТОРСКОМ ДЕТЕЛЬС ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Научно-исследовательский институтприкладной физики Ташкентского государственного университета им. В.И,Ленина(56) Авторское свидетельство СССРМ 1481475, кл. Е 04 С 29/02, 1987.(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА57) Изобретение может быть использованодля откачки неконденсируемых газов изобъектов с низким газовыделением, Цельизобретения - снижение предельного давления в замкнутом объеме и уменьшение Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением,Целью изобретения является снижение предельного давления в откачиваемом объеме и уменьшение времени получения предельного вакуума,На чертеже изображена схема вакуумной установки для реализации предлагаемого способа получения вакуума,Вакуумная установка содержит откачиваемый замкнутый объем 1, сообщенный вакуумный трубопроводом 2 с ротационным механическим вакуумным насосом 3, баллон 4 с водородом, сообщенный трубопроводом 5 напуска водорода с замкнутым объемом 1, палладиевый фильтр 6, установленный в трубопроводе 5, Замкнутый объем времени получения предельного вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса. Газ откачивают из вакумного объема по вакуумному трубопроводу, Откачку осуществляют циклами, периодически заполняя замкнутый объем водородом через пэлладиевый фильтр. В каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполняют водородом до давления; равного 0,3 - 1,0 атмосферного, В первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давления, при котором в трубопроводе откачки сохраняется режим вязкого трения. В последнем цикле откачки замкнутый объем сообщают с атмосферой через нагретый фильтр. 1 ил. 1 снабжен датчиками 7 и 8 низкого и высокого вакуума, В трубопроводах 2 и 5 установлены соответственно вакумные вентили 9 и 10, Палладиевый фильтр 6 снабжен нагревателем 11 и съемной крышкой 12.Способ получения вакуума на описанной установке заключается в том, что из замкнутого объема 1 по трубопроводу 2 периодически осуществляют откачку газа посредством ротационного механического вакуумного насоса 3 и заполнение замкнутого объема 1 через палладиевый фильтр 6 водородом. При этом в каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем 1 заполняют водородом до давления, равного 0,3-1,0 атмосферного, в первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давления, при котором вьо ж 83 Составитель С.ПузиковРедактор М.Бандура Техред М,Моргентал Корректор М.Дем каз 3691 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и.открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 трубопроводе 2 откачки сохраняется режим вязкого трения, а в последнем цикле после откачки замкнутого объема 1 последний сообщают с атмосферой через нагретый палладиевый фильтр 6. Нагрев палладиевого фильтра 6 осуществляют нагревателем 11. Величину вакуума в замкнутом объеме контролируют датчиками 7 и 8. Формула изобретения Способ получения вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса, включающий откачку газа из замкнутого объема по вакуумному трубопроводу, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения предельного, давления в эамкнутом обьеме и уменьшения времени получения предельного вакуума, откачку осуществляют циклами, периодически заполняя замкнутый объем водородом через паллади евый фильтр, при этом в каждом иэ циклов,кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполняют водородом до давления, равного 0,3 - 1,0 атмосферного, в первом цикле откачку производят до 10 давления 10 - 20 Па, в последующих - донаименьшего давления, при котором. в трубопроводе откачки сохраняется режим вязкого трения, а в последнем цикле после откачки замкнутого объема последний сооб щают с атмосферой через нагретый палладиевый фильтр.