Способ измерения шероховатости поверхности детали

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 5 5 С 01 В 11/30 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Черновицкий государственный университет(56) Топорец А.С,Определение размеровшероховатости непрозрачной полированной поверхности.-Оптико-механическая промышленность, 1978, М 5, с.68-69.(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, вчастности, в оптических рефлектометрическихспособах в машиностроении, оптической,электронной и других отраслях промышленности для бесконтактного экспрессного измерения среднеквадратичного отклоненияя микронеровностей от средней линии Изобретение относится к измеритель ной технике и может быть использовано, в частности, в оптических рефлексометрических способах в машиностроении, оптической, электронной и других отраслях промышленности для бесконтактного экспрессного измерения среднеквадратичного отклонения микронеровностей от средней линии профиля,Цель изобретения - повышение точности определения за счет проведения предварительных измерений на аттестованной по шероховатости поверхности и использоО1657950 А 1 профиля, Цель изобретения - повышение точности определения за счет проведения предварительных измерений на аттестованной по шероховатости поверхности и использования полученных результатов в измерениях на исследуемых деталях, Облучают поверхность пучком коллимированного монохроматического естественно поляризованного излучения последовательно под двумя углами 1, 2 в диапазоне 40-70 град., предварительно фотоэлектрически измеряют интенсивность з и 2 зеркальных составляющих отраженного излучения соответственно от аттестованной по параметру Вп поверхности, полученной аналогичным образом из того же материала, что и измеряемая деталь,и определяют параметр А по формуле А = 1-М/Я 5(Ф(2)-МФ(1 И, где Ф(Ц=2 соэ, ц/1+ совк, М=з 10 бр./эггар.ф1,25. 1,г ,Ф(2)/Ф(1), М, 2,в после измерений з 1, эг на исследуемых поверхностях опрееляют Вя по формуле Яя=;(1-М/А(Ф(2)-МФ(1 . 1 ил,вания полученных результатов в измерениях на исследуемых деталях.На чертеже представлена принципиальная схема устройства для реализации предлагаемого способа,Устройство содержит источник 1 излучения, фотоэлектрический приемник 2. Позицией 3 обозначена исследуемая деталь,Способ осуществляют следующим образом.На предметный столик гониометра (не показан) помещают деталь 3 с известным параметром Яя и облучают от источника 1 излучения исследуемую поверхность пучСреднеквадратичное отклонение йя микронеровностей от средней линии профиля определяют по формуле1 - Мдет 30 / 1 з 112, М 1 э 1 обрФ 12) 13211 т 1 э 2 обрф ф(1) 2 СМ "1 1+соз11 2 соз 1 12 1+соз12Формула изобретения Способ измерения шероховатости поерхности детали, заключающийся в том,Составитель Л.Лобзоваедактор Н,Тупица Техред М,Моргентал Коррек Ципл Заказ 1891 Тираж 394 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10 ком монохроматического коллимированного естественно поляризованного излучения под углами 11, 12, значения которых находятся в диапазоне углов 40 11( 12 70, нао5 зеркальных углах отражения, равных углам облучения, фотоэлектрически регистрируют СООтВЕтСтВУЮЩИЕ ИНтЕНСИВНОСтИ 1 э 1, 1 э 2, Предварительно фотоэлектрически иэмеряЮт ИНтЕНСИВНОСтИ 1 э 1 обр И 1 э 2 обр СОСтаВЛЯЮ- щих отраженного излучения соответственно От аттЕСтОВаННОй ПО ПаРаМЕтРУ Вяобр. ПОВЕРХ- ности образца, полученного аналогичным методом из того же материала, что и исследуемая деталь 3.Определяют параметр А по формуле1 - М.бГ(ДбрФ 12) Мобрф 11) что облучают исследуемую поверхность детали пучком коллимированного монохроматического излучения под углами 11 и 12, измеРЯют интенсивность 1 э 1 и 1 э 2 зеРкальных составляющих отраженного излучения и определяют среднеквадратичное отклонение В микронеровностей от средней линии профиля, отл и ча ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности определения, облучение поверхности проводят естественно поляризованным излучением в диапазоне углов 40 =11 12 70,дополнительно изме- РЯЮТ ЗНаЧЕНИЯ 1 э 1 обр И 1 э 2 обр ПРИ ОтРажЕНИИ излучения от аттестованной по параметру нчобр повеРхности обРаэЦа, изготовленного аналогичным методом из того же материала, что и исследуемая деталь, а определение среднеквадратичного отклонения микроне- ровностей от средней линии профиля производят из соотношения