Способ измерения шероховатости поверхности

СОЮЭ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН (1 П С 01 В 21 ГО ОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Московский авиационный технологический институт им. К.Э, Циолковского(56) 1. Басс Ф.Г., Фукс И.М, Рассеяние волн на статически неровной по-верхностиМ., Наука, 1972,с, 128-155,2. Патент СИА Р 3850526,кл. 356-109, 1974.(54)(57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что луч когерентного монохроматического света направляют на исследуемую поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составляющей отраженного светового поля при взаимном перемещении луча и исследуемой поверхности, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых высот микронеровностей с различными видами обработки, осуществляют предварительно пространственную фильтрацию отраженного светового поля, а анализ ведут по текущему изменению интенсивности светового поля единич- е ного элемента эоны диффузной состав ляющей, невоэмущенного влиянием дифракции.С:7 бб 225 Изобретение относится к измери- Устройство содержит источник 1 тельной технике и предназначено для света, объектив 2, расположенный измерения шероховатости поверхности соосно источнику 1 света, регистрибесконтактным рефлексометрическим рующий элемент З,размещенный в .плосметодом. кости наблюдения 4. При этом осьИзвестен способ измерения шерохо объектива 2 расположена под фиксиватости, заключающийся в том, что лучрованным (заданным) углом с( к искогерентного монохроматического све- следуемой поверхности 5, та направляют на исследуемую поверх-Луч когерентного монохроматичесность под заданным углом и анализиру- кого света от источника 1 света нают интенсивность диффузной составля правляют объективом на исследуемую ющей светового поля, по которой су- поверхность 5 под фиксированным дят о величине шероховатости1(. (заданным) углом К, Перемещают, наЭтот способ может быть применен пример, исследуемую поверхность 5 только для измерения шероховатости в направлении стрелки А. При этом поверхности с регулярной составляю отраженный исследуемой поверхностью ,щей определяемой видом обработки, световой поток б, однозначно свяэаннапример, после операции доводки, ный с освещенным участком поверхНаиболее близким по технической ности 5 в плоскости наблюдения 4, сущности и достигаемому результату перпендикулярной к направлению зерк изобретению является способ изме- кального отражения, состоит из зеррения шероховатости поверхности,кальной 1, диффузной 11 составляющих заключающийся в том, что луч коге- и зоны дифракции 111. При перемеще" рентного монохроматического света нии поверхности 5 происходит пере- направляют на исследуемую поверх- распределение энергии отраженного ность под заданным углом и аналиэи- светового потока б соответственно руют интенсивность диффузной состав- состоянию поверхности, выражающееся ляющей отраженного светового поля ,в перемещении единичного элемента 1 Ч при взаимном перемещении луча и ис- зоны диффузной составляющей невоэследуемой поверхности (,2, мущенной влиянием дифракции, относиЭтот способ ограничен в диапазо- тельно регистрирующего элемента 3. не контролируемых высот. Между интенсивностью единичногоЦелью изобретения является расши- элемента зоны диффузной составляющей, рение диапазона измеряемых высотневозмущенной влиянием дифракции,так. микронеровностей с различными вида- называемой спекл-структуры, и высотми обработки. .ными параметрами имеется зависимость,Это достигается тем, что осущест в результате которой в формировании вляют предварительно пространственную спекл-структуры участвует каждая фильтрацию отраженного светового точка освещаемого участка поверхносполя, а анализ ведут по текущему ти, а поэтому единичнйй элемент изменению интенсивности светового спекл-структуры является источником поля едичичного элемента зоны диффуз объективной информации о поверхности ной составляющей, невозмущенного в целом.влиянием дифракции. Предложенный способ позволяет иэНа фиг. 1 изображено устройство, мерять шероховатость поверхностей реализующее предлагаемый способ; на широкого диапазона измеряемых высот фиг. 2 - картина отраженного свето микронеровностей и практически всех вого поля. видов обработки. таюЮЬющию тираня актор И. Гохфельд Техред Т.фанта Корректор А. Повхееи т е Подписнокомитета СССРбткрытийая наб., д. 4/5 Тираж 587 ВНИИПИ Государствен по делам изобрете 035, Москва, Ж, Рз 1 огоийушс илиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектна