Способ испытания диэлектрических пленок

Номер патента: 381002

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: G01N 19/04

Метки: адгезии, диэлектрической, пленки, подложке, электропроводящей

...при котором в образце возникает ионизация. Регистрируемое значение напряжения начала ионизации сопоставляется со значениями этого напрякения, полученными в аналогичных условиях измерения для образцов с известной величиной адгезии. Необходимым условием осуществления метода является гарантия отсутствия цонизаццц между подложкой и контрольным электродом. Исследования, проведенные на образцах ситалла с напыленными на них металлическими покрытиями показали, что при прикладывашш соответствующего переменного напряжения в переходном слое возникают ионпзационные процессы. Прц этом величина напряжения начала ионизации зависит от степени неоднородности переходного слоя и, следовательно, от качества адгезии.Способ реализуется с помощью...

Номер патента: 1071973

Опубликовано: 07.02.1984

Авторы: Конев, Любецкий, Пунько, Тиханович

МПК: G01R 27/26

Метки: диэлектрической, защитной, пленкой, покрытых, проницаемости

...с помощью второго модулятора .частоту генератора изменяют с малой амплитудой, но с более высокой частотой по периодическому закону, а в сигнале одного из детекторов с помощью усилителя выделяется напряжение этой частоты и подается на фазовый детектор, Изменение частотыгенератора по пилообразному закону обеспечивает периодическое прохождение величины отношения ортогональных составляющих через максимальное з начение. А дополнительная модуляция с более высокой частотой обеспечинает фиксацию момента прохождения максимума, так как в этот момент фаза сигнала детектора скачком изменяется на 180 и фазовый детектор совместно с формирователем вырабатывает импульс, управляющий работой схемы измерения, Измеренная в момент прохождения...

Номер патента: 1059515

Опубликовано: 07.12.1983

Авторы: Косогоров, Сташкевич, Тарасюк

МПК: G01R 27/26

Метки: диэлектрических, диэлектрической, измеритель, металлической, поверхности, покрытий, проницаемости

...относится к техникерадиоизмерений и может использоваться для измерения диэлектрическихпостоянных веществ.Известен интерферометр СВЧ дляизмерения эффективной толщины диэлектрических пластин, в которомиспользован принцип действия отражающего интерферометра Майкельсона,при этом испытуемая диэлектрическая .пластина, покрытая с одной стороны 10металлом, помещается вблизи рупор"ной антенны 1 .Однако такое устройство имеетнизкую пространственную разрешающуюспособность 15Наиболее близким .к предлагаемому является устройство для измерениядиэлектрической проницаемости диэлектрических покрытий, содержащее СВЧ-генератор, излучающую антенну для возбуждения поверхностныхволн в системе металл-диэлектрик,приемную антенну с измерительнымустройством...

Номер патента: 1149187

Опубликовано: 07.04.1985

Авторы: Конев, Любецкий, Михнев

МПК: G01R 27/26

Метки: диэлектрических, диэлектрической, пленок, проницаемости, толщины

...антенну, делитель луча, к первому плечу которого обращен вход резонатора с зеркалами, в .котором при измерениях исследуемая диэлектрическая пленка расположена под углом 45 к оси резонатора, перпендикулярной первому плечу делителя луча, первый приемный блок, подсоединенный через первую приемную антенну к второму плечу делителя луча и регистрирующий блок, введены первая и вторая поляриэационные проволочные решетки, причем проволочки обеих поляризационных проволочных решеток параллельны, вторая и третья приемные антенны, второй приемный блок н корректор, первый приемный блок выполнен в виде блока измерения диэлектрической проницаемости, выход резонатора расположен со стороны, противоположной его входу, причем первая поляризационная...

Номер патента: 1805346

Опубликовано: 30.03.1993

Авторы: Баязитов, Саврасов

МПК: G01N 19/04

Метки: адгезии, диэлектрической, металлической, пленки, подложке

...ау = 0,72.10 Па, что составляет 0,36 адгезионной прочности алюминиевого покрытия (Оад = (1,5 - 2).10 Па).Экспериментальная точность предлагаемого способа составляет 0,62-0,64%, что обусловлено в основном ошибками оператора и аппаратурными погрешностями,П р и м е р 1. Измерение адгезии пленки алюминия (которая для большинства оптоэлектронных изделий нормируется как Оад =7=(1,5-2).10 Па), К электростатическому зонду (ЭСЗ), представленному в виде алюминиевого стержня с рабочей площадкой диаметром Э - 2 мм и с покрытием на ней из окиси алюминия толщиной 0,1 мкм с диэлектрической проницаемостью я = 9 и электрической прочностью Епр = 9.10 В/м, определяем максимально возможное значение прикладываемого потенциала Омакс = дЕ, где д 0 - толщина...