Натекатель

(5 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ ИПРИ ГКНТ СССР ИТЕТКРЫТИ ОПИС К АВТОРСК ИЗОБРЕТЕНИЯ шается з.п.ф-л а Ьаа Ф ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Авторское свидетельство СССР М 932069, кл. Р 16 К 51/02, 1980.Авторское свидетельство СССР М 1195110, кл. Г 16 К 51/02, 1984.(57) Изобретение относится к арматуростроению, Целью изобретения является повышение точности регулирования потока газа, напускаемого в вакуумную систему. При вращении маховика 3 по часовой стрелке подвижное седло 2, выполненное в виде полого цилиндра, контактирующего своей боковой поверхностью с внутренней поверхностью втулки 12 из газопроницаемого материала, отходит от поверхности размещенно о в полости корпуса 1 запорного органа б, через образовавшуюся щель газ поступает к втулке 12, установленной в корпусе 1 коаксиально седлу 2 и соединенной с запорным органом б. Поскольку размеры пор материала втулки 12 возрастают в сторону от запорного органа б, то пропорционально перемещению седла 2 увеличивается величина потока напускаемого в вакуумную систему газа и его спектральный состав. Концентрация смеси газа обеспечивается за счет положения седла 2 относительно запорного органа 6, а также за счет выполнения втулки 12 иэ колец с равными размерами пор и снабжения втулки уплотнителями из эластичного материала, размещенными между смежными кольцами. При вращении маховика 3 против часовой стрелки пропорционально уменьсход газа через натекатель. 1 ил.121622700 Изобретение относится к арматуростроению и предназначено для регулирования потока газа, напускаемого в вакуумную систему.Цель изобретения - повышение точности регулирования газового потока путем обеспечения пропуска газа с определенной величиной молекул.На чертеже представлен натекатель, общий вид,Натекатель содержит герметичный корпус 1, в полости которого размещено подвижное седло 2, снабженное приводом, выполненным в виде соединенного через резьбу с седлом 2 маховика 3, взаимодействующего с корпусом 1 с помощью кольцевой обоймы 4, Седло 2 соединено с подводящим каналом 5, через который подается газовая среда из источника. В полости корпуса 1 также размещен запорный орган б с отводящим каналом 7, сообщенным с вакуумной системой, Для исключения проникновения газов из атмосферы в вакуумную систему подвижное седло 2 соединено с корпусом 1 с помощью сильфона 8. кроме того уплотнения 9 и 10, выполненные из фторопласта, нарядус функциями направляющих элементов служат и герметизирующими элементами. Для исключения перекосов седла по его оси размещена направляющая 11, радиальные опоры которой выполнены с отверстиями для прохода газа,Подвижное седло 2 выполнено в виде полого цилиндра, своим торцом контактирующим с плоскостью запорного органа б. В полости корпуса 1 коаксиально седлу 2 установлена втулка 12 из газопроницаемого материала, жестко соединенная с запорным органом, при этом боковая поверхность седла 2 контактирует с внутренней поверхностью втулки 12,Для обеспечения пропуска определенного типа газа или его смеси с другим газом размеры пор материала втулки 12 соизмеримы с диаметрами молекул газов смеси и возрастают в сторону от запорного органа 6, Втулка 12 может быть выполнена из колец с равными размерами пор, причем в этом случае втулка должна быть снабжена уплотнителями из эластичного материала, размещенными между смежными кольцами Натекатель работает следующим образом,При вращении маховика 3 по часовой стрелке седло 2 отходит от запорного органа б и в образовавшуюся щель начинает поступать газ, при этом сквозь втулку 12 в отводящий канал 7 будет поступать только тот газ, размеры молекул которого не будут превышать размеры пор материала втулки. При дальнейшем вращении маховика 3 газ начинает поступать к участкам втулки с большим размером пор, и в этом случае в вакуумную систему поступает смесь газов 10 определенной концентрации, обусловлен ной размером пор материала втулки 12.При вращении маховика 3 против часовой стрелки пропорционально уменьшается величина потока газа через натекатель в вакуумную систему и состав газа, поскольку 20 уменьшается размер пор материала втулки 12 и ее площадь, заключенная между запорным органом б и торцом подвижного седла 2.В крайнем положении седло 2 своим 25 торцом взаимодействует с запорным органом б, отсекая поток газа в вакуумную систему Формула изобретения 1, Натекатель, содержащий корпус, в полости которого размещено снабженное приводом подвижное седло с подводящим каналом и взаимодействующий с ним эапорный орган с отводящим каналом, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности регулирования газового потока, в полости корпуса коаксиально седлу установлена втулка из гаэопроницаемого материала, жестко соединенная с запорным органом, а подвижное седло выполнено в виде полого цилиндра, контактирующего своей боковой поверхностью с внутренней поверхностью втулки, при этом размеры пор материала втулки возрастают в сторону от запорного органа. 30 35 40 45 2, Натекатель по и, 1, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что втулка выполнена иэ колец с равными размерами пор и снабжена уплотнителями из эластичного материала, размещенными между смежными кольцами,50 Составитель Л ФокинТехред М Моргентал Редактор Е,Папп Корректор Л Бескид Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 Заказ 103 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб, 4/5