Способ измерения поперечных размеров микроизделий
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51)5 6 01 В 11/10 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ЯОЮАм 1 рт:-,:., .г,;" Р(56) Авторское свидетельство СССРМ 925168, кл, 6 01 В 11/10, 1981.(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОПЕРЕЧНЫХРАЗМЕРОВ МИКРОИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляконтроля поперечных размеров длинномерИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляконтроля поперечных размеров длинномерных изделий, например, оптического волокна,Цель изобретения - расширение видовконтролируемых микроизделий за счетобеспечения контроля прозрачных микроизделий.На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ.Устройство содержит лазер 1, держатель 2 оптического волокна, установленногос возможностью поворота на угол а5 вплоскости, проходящей через освещающийпучок и микроиэделие, пространственныйфильтр 3 и фотоприемник 4, расположенныйза фильтром по ходу пучка.Способ осуществляется следующим образом.Когерентный пучок лазера 1 направляют на микроизделие, оптическое волокно,установленное в держателе 2. В зоне диф.БЫ, 1619016 А 1 ных изделий, например оптического волокна. Цель изобретения - расширение видов контролируемых микроиэделий за счет обеспечения контроля прозрачных микро- изделий путем исключения влияния преломленного пучка на формирование дифракционной картины. Пучком лазера освещают контролируемое микроизделие, наклоняют изделие в плоскости, проходящей через освещающий пучок и контролируемое микроизделие, на угол а50 и анализируютдифракционную картину контролируемого микроизделия, после чего судят о поперечном размере контролируемого микроиэделия. 1 ил,ракции Фраунгофера устанавливается пространственный фильтр 3, представляющий собой негативное изображение дифракци- Я онной картины микроизделия с возможностью перемещения вдоль оси пучка лазера 1. Держатель 2 оптического волокна наклоняют на угол а50 в плоскости, проходящей через пучок лазера 1 и оптическое волокно, при этом преломленная составляющая пучка в дифракционной картине отсутствует. Перемещая пространственный фильтр 3 вдоль пучка лазера 1 с помощью шкалы, проградуированной в соответствии с формулой дифракции Фраунгофера и установленной параллельно пучку лазера, определяют контролируемый поперечный размер. Погрешность измерения прозрачных оптических волокон не превышает 0,5.Формула изобретенияСпособ измерения поперечных размеров микрбизделий, заключающийся в том, что формируют когерентный пучок, освеща1619016 . Составитель М.МининТехред М.Моргентал Корректор М,Шароши Редактор Н,Бобкова Заказ 35 Тираж Подписное 8 НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 101 ют им контролируемое микроизделие, формируют дифракционное изображение, анализируют дифракционное изображение микроизделия и определяют контролируемый размер микроиэделия, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью расширения видов, контролируемых микроизделий за счетобеспечения контроля прозрачных микроиэделий, перед формированием дифракционного изображения наклоняют микроиэделие в 5 плоскости, проходящей через освещающийпучок и микроизделие, на угол а50 О,
СмотретьЗаявка
4636254, 12.01.1989
ОДЕССКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. И. И. МЕЧНИКОВА
КАСЮГА ЛАРИСА ЗЕЛИКОВНА, МАЛЫХИН АНАТОЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ, НОСКОВ ЮРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ШАПОВАЛОВ ИГОРЬ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/10
Метки: микроизделий, поперечных, размеров
Опубликовано: 07.01.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1619016-sposob-izmereniya-poperechnykh-razmerov-mikroizdelijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения поперечных размеров микроизделий</a>
Предыдущий патент: Способ контроля толщины материала
Следующий патент: Устройство для измерения скорости развития трещины
Случайный патент: Устройство для группирования штучных предметов и укладки их в тару