Способ определения газовой компоненты

(21) 4 (22) 0 (46) 2 (72) Э (53) 5 (56) М Вод ЩИ ДАА М 1 (54) КО (57) И ник исп ния- по никоиспония тивн возб что а или г нос меру, и тер денн предс ку ок ную снаб ДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМГКНТ СССР ВТОРСКОУУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 648817/25-254.01.893,11.90, Бюл. Кт 43,Е,Гутман, И.А.Мясников и В,М.Телия 43.274 (088,8)ясников И.А., Малинова Г,В, Полупроиковые зонды, раздельно регистрирую- свободные радикалы и молекулы. - СССР, 1964, т. 159, с. 894,вторское свидетельство СССР 42796, кл. 6 01 1 ч 27/02, 1986,СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗОВОЙ ПОНЕНТЫзобретение относится к полупроводвому газовому анализу и может быть льзовано для качественного определеазовой компоненты. Цель изобретения ышение селективности способа за счет зобретение относится к полупроводому газовому анализу и может быть ьзовано для качественного определеазовой компоненты,ель изобретения - повышение селексти способа за счет колебательного ждения молекул.ущность способа заключается в том, ализируемый газ подают из баллона зовой коммуникации в предварительвакуумированную герметичнчю касодержащую чувствительный элемент ический источник колебательно-возбуж 1 х молекул, Чувствительный элемент авляет собой полупроводниковую пленида металла, нанесенную на огнеупорзолирующую подложку из кварца, енную платиновыми контактами для изколебательного возбуждения молекул, Способ заключается в регистрации предварительно откалиброванного параметра начала изменения электрофизических свойств (электропроводности, работы выхода) полупроводниковой пленки при повышении температуры термического источника колебательно-возбужденных молекул при подаче в рабочую камеру неизвестной газовой компоненты. В камере размещают термический источник колебательно-возбужденных молекул в виде снабженного нагревателем высокотемпературного диэлектрика. Подают исследуемую газовую компоненту, повышают температуру диэлектрика, Регистрируют температуру начала изменения электропроводности или работы выхода электрона,мерения электропроводности. Термический источник колебательно-возбужденных молекул изготовлен в виде высокотемпературного диэлектрика, снабженного нагревателем, После подачи газа в рабочую камеру нагревают источник и, варьируя его нагрев, регистрируют ту температуру, при которой начинается изменение электропроводности или работы выхода полупроводниковой пленки оксида металла при подаче в рабочую камеру неизвестных газовых кОмпонент. По калибровочным данным качественно определяют газовую компоненту, соответствующую этой температуре, Данные калибровки измеряемого параметра - температуры источника колебательновоэбужденных молекул, соответствующей началу изменения электропроводности или1608549 Составитель Н.ПреображенскаяТехред М.Моргентал Корректор Л.Патай Редактор И.Горная Заказ 3612 Тираж 511 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 работы выхода полупроводниковой пленки ЛпО при подаче в рабочую камеру известных газовых компонент, соответственно равны, С: 02 320; И 2 610; Т 2 690; Ог 900; Нг 1200, После подачи неизвестной газовой компоненты чувствительный элемент выдерживают до постоянного значения электропроводности или работы выхода электрона, Затем повышают температуру термического источника, при этом начинается изменение электропроводности и работы выхода чувствительного элемента, качественно определяют газовую компоненту.П р и м е.р 1, Определение дейтерия в качестве неизвестной газовой компоненты с помощью чувствительного элемента из окиси цинка.Полупроводниковую пленку ЕпО наносят на огнеупорную изолирующую подложку из кварца, снабженную платиновыми контактами для измерения электропровод- ности. Подготовленный таким образом чувствительный элемент помещают в вакуумную камеру и напускают неизвестную газовую компоненту до давления 10 торр, затем повышают температуру термического источника и следят за электропроводностью полупроводниковой пленки. При достижении 900 С начинается изменение электропроводности пленки ЕнО, По калибровочным данным этой температуре соответствует дейтерий.П р и м е р 2. Определение кислорода вкачестве неизвестной газовой компоненты.5 Последовательность операций такая же, какв примере 1, но в качестве электрофизического параметра измеряют работу выхода,Формула изобретения 10 Способ определения газовой компоненты, заключающийся в том, что анализируемый газ подают в герметичную камеру, содержащую чувствительный элемент, представляющий собой полупроводнико вую пленку оксида металла, и измеряют изменение ее электропроводности или работы выхода электрона, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения селективности способа за счет колебательного возбуждения 20 молекул, в камере размещают термическийисточник колебательно-возбужденных молекул в виде снабженного нагревателем высокотемпературного диэлектрика, подают исследуемый газовый компонент, по вышают температуру диэлектрика ирегистрируют температуру начала изменения электропроводности или работы выхода электрона пленки оксида металла, по которой качественно оп ределяют газовую компоненту,