Способ нейтрализации зарядов статического электричества в диэлектрике

(54) СПОСОБ НДОВ СТАТИЧЕСВ ДИЭЛЕКТРИ(57) Изобретениты от вредныхэлектричества, об ЕЙТРАЛИЗАЦИИ ЗАРЯ- КОГО ЭЛЕКТРИЧЕСТВА относится к проявлений азующегося хникг защит атического устройствахвйв ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Научно-исследовательский институт высоких напряжений при Томском политехническом институте им. С. М. Кирова (72) В. Г 1. Суржиков,)еда М. Та 1 сецсЬ К. апд Яаана 6. Ецесэ о( Тегпрегацге у - Кау 1 ггад 1 а 1 оп апд Сгув 1 ап 11 у оп Весау Ргосеэв о( 8 цг(асе Еес 1 г 1 с Спагдег асгоьв Роуейуепе Г 1 гп А - 1. Арр. Рйув, 9 О, ч, 9, р. 727 - 728. прототип. с диэлектриками, облучаемыми электронными пучками. Целью изобретения является повышение эффективности нейтрализации зарядов, вносимых в диэлектрики с нанесенным по крайней мере на одну их поверхность проводящим покрытием при облучении их электронами через указанные покрытия. Эта цель достигается за счет создания в толще диэлектрика электрического поля, направление напряженности которого совпадает с направлением распространения электронного пучка в материал при облучении. Электрическое поле может быть создано между проводящим покрытием-электродоми электродом 2, если между ними приложено напряжение. Покрытиеимеет малую толщину и прозрачно для электронного пучка. В процессе облучения объемная проводимость диэлектрика резко возрастает. Поэтому создание электрического поля в нем в процессе облучения способствует, как показали испытания, повышению эффективности отвода зарядов из толщи диэлектрика.ил..Ос) а во нс. н В Сим Ре;саксор с), С,иссивык Заказ 35 оГиок,+ С)Ь 110,.исое ЗИИИ Гог) гирста ,ного ксис се"а н; н,ккии е;и и и огсииин н нри ГКИТ С:С;С;Р 1.ЗИЗ, Москва, . З 1, аулекси иап"с 1 роиаводггвсиио иа аесвск сое,и а:;агс,.н,. гкгоро, с,. .агрина, ГИзобретение относится к области техники зациты от вредных проявлений статического электричества и может быть использовано в электронной и радиотехнической отраслях промьпцленности при создании приборов и устройств, работающих в условиях электронного облучения.Цельк) изобретения является повышение эффективности нейтрализации зарядов, вносимых в диэлектрик с нанесенным по крайней мере на одну его боковую поверхность проводящим покрытием при облучении их электронами через указанное проводятцее покрытие. Эта цель достигается за счет увеличения скорости вывода электронов из толщи диэлектрика к поверхности.На чертеже представлено устройство, с помощью которого может быть реализован способ.Устройство содержит два алюминиевых электрода 1 и 2 каждый толгциной 10 мкм, являющихся прозрачными для электронного облучения. Между электродами размещается образец 3 в виде прямоугольной пластины размерами 30)(30;)с,0,5 мм".Сособ отвода зарядов осуществлен на образцах полиметилметакрилата (ПММА), облучаемых пучком 4 ускоренных электронов со следующими параметрами: энергия электронов в пучке - 80 кэВ, плотностг тока пучка - 1 = 5 10 " А/см-. Поскольку с электродами померцают в измерительную ячейку, присоединенную к выходному фланц ускорителя, Температура комнатная, давление атмосферное. На элекгроды подают постоянное напряжение= 310 В. Наравление вектора напряженности приложенного электрического поля совпадает с направлением распространения электронного пучка, т. е, от покрытия, через которое ссуществляется облучение, в толщс материала. ;.начения с рассчитывают из условия Ра.-енства напряженности внешнего электричес 1 ог;) поля (Ес напр яжс н ности к)ля объсм: ого заряда:/сгг - -" 14) г:и -=- Е где с - толщина образца;у,удельная объемная проводимостьобразца под облучением, равная 8 10(Ом см) .Затем ускоритель включают и образецоблучают в течение 4 мин. После отключения ускорителя пластину изымают из ячейки и компенсационным методом измеряют значение эффективной плотности поверхностного заряда (ст) на облученной поверхности. Величина о является мерой накопления объемного заряда, Измерения проведены для десяти сбразцов. Усредненная величина о, 1,2 10 Кл/см,Указанные операции повторяют для об- ,15 разцов ПММА, облучаемых без приложениявнешнего электрического поля (по прототипу), усредненные данные по эффективной плотности поверхностного заряда, измеренного известным способом о 2,2-10Кл/см.Затем, ,опять облучают образцы ПММАво внешнем постоянном электрическом поле с той лишь разницей, что вектор напряженности внешнего поля направлен встречно направлению облучения. Усредненные данные по измерению величины эффективноЙ 2 плотности таких образцов о 4,87. 10Кл/см.Таким образом, предложенный способ приоблучении диэлектрика в постоянном электрическом поле, вектор напряженности которого направлен по направлению движения частиц пучка, позволяет существенно 30 уменьшить величину инжектированного отрицательного заряда по сравнению с протот ипо.с. 35 Способ пейтрализац 1. зарядов статичесКОГО ЭЛЕКтРИсСС) Ва В ДИЭЛЕКТРИКЕ ПУТЕМ осуцествления мер вывода их из )олци диэлектрика на поверхность,. отвода их с поверхасти с помощью проводящих элемен- ггОВ, Отигиягггг)игийся тЕМ, Чта, С цЕ 1 ЬО ПОВЫ- щения эффективности нейтра. изации зарявносимых в диэлектрик с;олучениемэлс.;тронным пс)током через ппс)водящий элемаг ок 1)ьгг 1 я, с; процесас ос);: чения создаот в толще диэлектрика электрическос по)а лс, пэ 11 павле 111 Се От 1 ОкрьГия в толщудиэ.ектрика.