Ультразвуковой способ измерения толщины пленки
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1605142
Автор: Базаров
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН И 9) (11) А 1 51)5 С 01 В 17 ИЯ ТВ И 1)1кий т ноло во СССР 1963СССР 1976. ельст17/Оьств17/О ПОСОБ ИЗМЕРЕНИ тся может СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТГ)О ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯРИ ПЯТ СССР ПИСАНИЕ ИЗО К АВТОРСКОМУ СВИДЕ(51 УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ТОй)ИНЫ ПЛЕНКИ (57) Изобретение отн рольно-измерительной быть использовано для измерения толщины пленок в процессе их изготовленияЦелью изобретения являетсяповыщение точности измерения за счетисключения погреаности, вызваннойнеидентичностью элементов. Для этогодо нанесения пленки колебания, принятые первым приемником 3, черезусилитель 5 направляют обратно наизлучатель 2 в противофазе и получают нулевое результирующее колебание.О толщине растущей пленки судят повеличине сигнала, возникающего в результате рассогласования колебанийс ростом пленки, принимаемого вторымприемником. 1 ил.1605142 блоком 7 который можно проградуировать по толщине наносимой пленки.С течением времени сигнал увеличивается в соответствии с ростом пленки, что позволяет контролировать толщину пленки во время ее роста.Описанный способ позволяет повысить чувствительность и точность измерения толщины пленок в процессе изготовления, так как не требует геометрически идентичных и расположенных на определенном расстоянии двух излучателей. Составитель В.КольцовТехред Л,олийнык Корректор И.Самборская Редактор Л,Гратилло Заказ 3449 Тираж 478 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Н, Раувская наб д, 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент",г, Ужгород, ул.Гагарина,101 Изобретение относится к контрольно"измерительной технике и можетбыть использовано для измерения толщины пленок в процессе их нанесения.Целью иэобретенйя является повышение точности измерения за счетисключения погрешности, вызванной неидентичностью элементов.На чертеже приведена блок"схема. 1 Оустройства, реализующего ультразву, ковой способ измерения .толщины пленки.Устройство содержит подложку 1,на котсФую наносится контролируемая 15пленка, излучатель 2, приемники 3и 4, размещенные по разные стороныизлучателя, усилитель 5, генератор6 и регистрирующий блок 7.Способ заключается в следующем. 20На подложку 1 наносят три одинаковых преобразователя Упругих поверхностных волн, на один из которых(излучатель 2) подают исходный сигнал от генератора 6, а второй (приемник 3) принимает этот сигнал, который передают через усилитель 5 в .противофазе обратно на излучатель 2 для наложения на исходные колебания, с целью получения нулевого результи;рующего колебания в подложке 1 (до нанесения пленки). В пространствемежду излучателем 2 и приемником 3 наносят пленку, цто приводит к рассогласованию колебаний и на приемнике 4 появляется сигнал, регистрируемый Формула изобретенияУльтразвуковой способ измерения толщины пленки, заключающийся в том, цто в подложке, на которую наносится пленка, с помощью подключенного к генератору излучателя возбуждают упругие поверхностные колебания, принимают посредством приемника колебания, проведшие подложку, суммируют сигналы и по величине результирующего сигнала судят о толщине пленки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, цто, с целью повышения точности измерения, сигналы суммируют на излучателе, в качестве суммирующих сигналов используют сигнал с генератора и проинвертированный по Фазе сигнал приемника, а величину результирующего сигнала определяют по сигналу, принимаемому вторым приемником, размещенным с противоположной стороны излучателя,
СмотретьЗаявка
4437729, 08.06.1988
ВОСТОЧНО-СИБИРСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
БАЗАРОВ ВЛАДИМИР ДУГАРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 17/02
Метки: пленки, толщины, ультразвуковой
Опубликовано: 07.11.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1605142-ultrazvukovojj-sposob-izmereniya-tolshhiny-plenki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Ультразвуковой способ измерения толщины пленки</a>
Предыдущий патент: Рентгеновский измеритель толщины проката
Следующий патент: Фотоэлектрический импульсный датчик
Случайный патент: Фильтр охлаждающей воды