Пищаль

Номер патента: 1746214

Опубликовано: 07.07.1992

Авторы: Антонюк, Пищаль

МПК: G01B 11/06

Метки: нанесения, пленки, процессе, толщины

...преломления которого отличен от показателя преломления материала образца, а показатель поглощения близок к нулю, падающее линейно поляризованное монохроматическое излучение при отражении преобразуется в общем случае в эллиптически поляризованное излучение, так как разность фаз Р- и Б-компонент отраженного излучения не равна 2 г(или О), причем степень эллиптичности и направление большой оси эллипса определяется оптической толщиной слоя веществаПараметры эллиптической поляризации отраженного излучения могут быть определены из уравнения, описывающего относительный коэффициент отражения рлинейно поляризованного излучения длиной волныпадающего под углом о на слой вещества из окружающей средыГ 01 + Е Е Г 12 ТФ - 2 д 2 -1 + е с Г 01 Г 2 р...

Номер патента: 1746213

Опубликовано: 07.07.1992

Авторы: Антонюк, Пищаль

МПК: G01B 11/06

Метки: нанесения, пленки, процессе, толщины

...поляризованное излучение, так как разность фаз Р- и Я-компонент отражен. ного излучения не равна гг (или О), причем степень эллиптичности и направление боль шой оси эглипса определяется оптической толщиной слоя вещества.Параметры эллиптической поляризации отраженноо излучения могут быть определены из уравнения, описывающего 4 О коэффициент отражения рлинейно поляризованного излучения длиной волны 1, падающего под углом р на слой вещества из окружающей средыг + е 2 е 2 фг1 + е е Г 01 РГ 12 р- 21 О 11 + е Г 01.Г 12,- 2 Ж - 2)ГГ 015 + Е Е Г 12 Эгде г 01 р и Г 12 р - коэффициенты отражения Френеля для Р-компоненты излучения, относящиеся соответственно к границам раздела между окружающей с редой и сг оем вещества и слоем вещества и...