Тензорезисторный датчик разности давлений

. кл. С 01 Ь 13/02 (54) ТЕНЗОРЕЗИСТДАВЛЕНИЙ (57) Изобретение ние при измерени НОСТИ имене же и зности давлений ОСУДАРСТВЕИНЫЙ НОМИТЕТО изОБРетениям и ОТКРытиямРи Гннт сссР А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 4353524/24-1031,12.8723,10.90. БюпГосударственныйьский .институтприборостроенияВ,Л, КенигсберВ,Н, Черницын531. 787 (088,8) йизкотемпературных сред с возможнперегрузочнымИ давлениями, Цельизобретения - повышение точностисчет уменьшения температурной погности и погрешности от рабочего дления. При ьоздействии разности длений мембранная коробка 1 деформиется., вызывая смещение тяги 5 и кстержня 4, Это в свою очередь придит к изгибу упругой пластины 2 иформации тензорезисторов 6. Пои пгрузке со стороны большего давлемембранная коробка складывается идальнейшее перемещение мембран игиб упругой пластины с тензорезисрами становится не возможным. 1 ил1601533 Соста:витель 0 Техред М,Дидык Редактор И. Нулла Заказ 3267 Тираж 163 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва Ж, Раушскаянаб., д. 4/5 юПроизводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 Изобретение относится к приборо -строению, в частности к тензорезисторным преобразователям разности давлений.Целью изобретения является повы 5шение точности за счет уменьшениятемпературной погрешности и погрешности от рабочего давления,На чертеже изображен датчик разности давлений.Тензорезисторный датчик разностидавлений содержит манометрическийуйругий чувствительный элемент,:выполненный в виде мембранной коробки1 гибкую упругую пластину 2, при"лепленную к корпусу 3 и размещеннуюв, отверстии корпуса параллельно киправлению смещения подвижной стенкй мембранной коробки; передающийАэлемент в виде гибкого упругогостержня 1, один конец которого жестко закреплен на внутренней повер:хностй гибкой упругой пластины 2 перпендикулярно к ней, в ее центре, а другой соединен с тягой 5, тензорезисторы 6, размещенные на внешней поверхности гибкой упругой пластины,гибкую упругую трубку 7, один конецкоторой герметично прикреплен к кор ЗОпусу по контуру отверстия в корпусе,а другой - по контуру, например, с1помощью аргоно-дуговой сварки к концугибкого упругого стержня 4.Тензорезисторный датчик разности35давлений работает следующим образом.Противоположные входные давления,действуют на мембранную коробку 1,вызывая смещение ее подвижного участка и связанного с ним с помощью тяги5 конца стержня 1, вызывая изгиб гибкой упругой пластины 2. Зто приводитк деформации тензорезисторов 6, размещенных на поверхности гибкой упругой пластины в зонах сжатия и растяжения и соединенных в тензочувствитель-.ную схему. Деформация тензорезисторовпреобразуется в электрический выходной сигнал, пропорциональный измеряемому перепаду давлений. При работе датчика большее давление Рподается внутрь корпуса 3 с внешней стороны мембранной коробки 1, а меньшее давление Р- внутрь мембранной коробки 1, При перегрузке со стороны большего давления мембранная коробка складывается и дальнейшее перемещение мембран и, соответствен-. но изгиб упругой пластины с тензорезистором становятся невозможными,Преимущество тензорезисторный датчик имеет при измерениях разности давлений низкотемпературных (криогенных) сред. Использование изобретения позволит эксплуатировать преобразователь в широком диапазоне рабочих температур, до температуры жидкого гелия. Формула изобретенияТензорезисторный датчик разности давлений, содержащий корпус с отверстием для "плюсового" давления, закрепленный герметично в корпусе ма" нометрический чувствительный элемент с тягой по своей оси закрепленную в корпусе и расположенную параллельно оси чувствительного элемента упругую пластину, соединенную своей центральной частью с одним концом перпендикулярного ей стержня, связанного другим концом с тягой, причем на наружной поверхности упругой пластины закреглены по обе стороны от ее центра тензорезисторы, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности за счет уменьшения температурной погрешности и погрешности от рабочего давления, в него введена размещенная коаксиально стержню упругая трубка, один конец которой герметично закреплен в корпусе, а другой герметично соединен с концом стержня, связанного с тягой, причем длина трубки меньше длины стержня, при этом стержень выполнен упругим, а чувствительный элемент выполнен в виде мембранной коробки, внутренняя полость которой сообщена с источником "минусового" давления Слюсарев Корректор И. Максимишинец