Номер патента: 1302154

Авторы: Гадяцкий, Ерокина, Клочихин

ZIP архив

Текст

(51)4 С 01 Ь ОСУДАРСТВЕННЫИ О ДЕЛАМ ИЗОБРЕ ОМИТЕТ СССР ЕНИЙ И ОТНРЫТИИф; 1 ь ОПИСАН Н АВТОРСКОМ ЕТЕНИЯ СВИДЕТЕЛЬСТВ ДАТЧИК ДАВПИзобретениеой техникесть измерен( ( то ижения темпера и во СССР1978..787(088.8)орское свидетельсткл, С 01 ь 9/04,ское свидетельство СССРкл. С 01 Ь 9/04, 1981. относится к измерипозволяет повысить я давления за счет урной погрешности уменьшить габариты датчика. Для этого в мембранной коробке, образованной монокристаллическими пластинами 6 и 7, равномерно размещены изоляторы 8. Мембранная коробка закреплена на стойках 4, пропущенных через сквозные отверстия в изоляторах 8. Об измеряемом давлении судят по величине электрического сигнала тензорезисторов, воспринимающих деформацию мембранной коробки. 2 ил./42ВНИИПИ Госупо делам113035, Мос Подписное Заказ 12 Тираж 777дарственногизобретенива, Ж,комитета СССРи открытийушская наб., д. играфическое предприятие, г,ужгород, ул.Проектна,Проиэводственно 1 13021Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при коьструировании полупроводниковыхдатчиков давления,Целью изобретения является говышение точности измерения за счет снижения температурной погрешности и уменьшение габаритов датчика,На фиг, 1 приведена конструктивнаясхема предлагаемого датчика с мембран.10ной коробкой для измерения абсолют-,ного давления; на фиг, 2 - разрез А-Ана фиг. 1.В основании 1, герметично соединенном со штуцером 2, установлены с помощью стеклянных изоляторов 3 стойки 4 по числу контактных площадок 5.Мембранная коробка образована монокристаллическими пластинами 6 и 7,соединенными в вакууме мягким припоем.20В пластине 6 с помощью изотропноготравления выполнено углубление, образующее вакуумированную полость мембранной коробки, На наружной поверхности мембраны методами планарной тех -нологии изготовлены диффузионные тензорезисторы с напыленными токопроводящими дорожками и контактными площад-.ками. В мембранной коробке на периферийных участках пластин выполнены З 0сквозные отверстия, через которые припомощи изоляторов 8 коробка закреплена на стойках, Проволочные токопроводы 9 обеспечивают электрическуюсвязь контактных площадок преобразователя с электровыводами. 54 2Датчик работает следующим образом, Измеряемое давление Р через штуцер подается во внутреннюю полость датчика и воздействует на мембрану. Деформация мембраны преобразуется тензорезисторами в электрический сигнал, пропорциональный величине измеряемого давления. Токопровод от контактных площадок до штепсельного разъема датчика осуществляется с помощью стоек.Таким образом, в датчике отсутствует погрешность, вызываемая дополнительными напряжениями мембраны, обусловленными разностью значений температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР) материалов мембранной коробки и основания датчика. Формула изобретенияДатчик давления, содержащий кор. - пус с основанием, мембранную коробку, образованную двумя монокристаллическими пластинами с тензорезисторами, и токоподводы, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что, с целью повышения точности и уменьшения габаритов датчика, в нем мембранная коробка снабжена изоляторами со сквозными отверстиями, равномерно установленными в периферийной части мембранной коробки, а основание снабжено металлическими цилиндрическими стойками, к которым подсоединены токоподводы, при этом мембранная коробка закреплена на стойках, которые пропущены через отверс-. тия изоляторов

Смотреть

Заявка

3993366, 10.11.1985

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5696

КЛОЧИХИН ГЕННАДИЙ ВИКТОРОВИЧ, ГАДЯЦКИЙ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, ЕРОКИНА ОЛЬГА ВАСИЛЬЕВНА

МПК / Метки

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, датчик

Опубликовано: 07.04.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1302154-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик давления</a>

Похожие патенты