Ерокина

Номер патента: 1432357

Опубликовано: 23.10.1988

Авторы: Гадяцкий, Ерокина, Раков, Тимошенко

МПК: G01L 21/22

Метки: давления, датчик

...5 длиной больше расстояниямежду гофрами. Пазы и гофры образуют 25в плате 2 прямоугольный участок,.на. котором закреплена мембранная коробкаб с тензореэисторами 7. Этот участокс мембранной коробкой приподнят надплатой 2 и не деформируется при дефор 30мации монтажной пластины 1 или платы2, Пластина 1 и плата 2 закрываютсякрышкой 8 с отверстиями для подводадавления к мембранной коробке. Детали 1, 2 и 8 по наружному контуру сое"динены сваркой,Тензорезисторы 7 соединены в мостовую схему, входы и выходы которойконтактными дорожками соединены сконтактными площадками 9, На плате2 закреплена монтажная колодка 10.Скобами 11 прикреплен плоский кабель 12, выводы которого соединены с контактными площадками 9, Пластиной 1 датчик приклеивается...

Номер патента: 1302154

Опубликовано: 07.04.1987

Авторы: Гадяцкий, Ерокина, Клочихин

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, датчик

...на фиг, 2 - разрез А-Ана фиг. 1.В основании 1, герметично соединенном со штуцером 2, установлены с помощью стеклянных изоляторов 3 стойки 4 по числу контактных площадок 5.Мембранная коробка образована монокристаллическими пластинами 6 и 7,соединенными в вакууме мягким припоем.20В пластине 6 с помощью изотропноготравления выполнено углубление, образующее вакуумированную полость мембранной коробки, На наружной поверхности мембраны методами планарной тех -нологии изготовлены диффузионные тензорезисторы с напыленными токопроводящими дорожками и контактными площад-.ками. В мембранной коробке на периферийных участках пластин выполнены З 0сквозные отверстия, через которые припомощи изоляторов 8 коробка закреплена на стойках, Проволочные...