Способ формирования в светочувствительном стекле углублений различной формы поперечного сечения

(21) 43 (22) 18 (46) 30 (71) Ку версите (72) В. 526223-3312,8706,90. Бюланский гос бле может быт мирования уг использовано изготовле н 11 2 тегральных сх личной конфиг с у блениформки опения ми раз -оперечный унирст рацииля укл ого сечени ически окон. С целью повыш ности воспроиз лублений одимостспособаносят и изго вления следующие ключае а паве операции:светочувстческуо пле хность но ите 1 етагци к еющую онфи к о нфи гор а 1 ио,ации формиру. оответствующую 02-204. СВЕТОБЛЕНИЙ О СЕЧЕНИЯ к интегглублений емых400 евают стекло до ес кцию эле.т ем внешнеиложенна- ртермообраяют ижс действ оля, пр ро в стекло ктрическ од го элго кбатыв го икой еталличе способамгии фор 1 б С: ют стекло, охлаждают и травиковой кислоте, 1 табл. л требуемой конфигурации. На противсп ложкуо сторону наносят слой алюминия такой же толщины. Далее образецонагревают до 400 .С, а к электродам (алюминиевая пленка и шаблон) прикл дывают напряжение 25 В таким образом, что минус приходится на шаблон а плюс на противоположную сторону, Под действием приложенного поля образец находится 1 ч, при этом глуинтеграл товлении интегрльями различной пользован ных схем конфигура чения для Цель и ности и впри изгоуглублениии и- формыукладки опобретения оперечног еских волокон, овышение точспроизводимости блений в светоч готовтвительлечия угном стекл мощью микроскопа по ия коллоидной окрас для кристаллизацииимеющих коллоидну ц термообрабатывают течение 1-2-х ч, О до комнатной темпе Сп разсмким вакуумныменку алюминиякоторой с помощью вливают шаблон ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБР тА, Никитин, И,А. Прохорови Н,А. Яковенко(54) СПОСОБ бОР 1 ИРОВАНИЯ ВЧУВСТВИТЕЛЬНОМ СТЕКЛЕ УГЛУРАЗЛИЧНОЙ ФОРМЬ ПОПЕРЕЧНОГ(57) Изобретение,.относитсяральной оптике, а именно кобработки стекла и техноло Изобретение относит ной оптике, а именно к способам об работки стекла и технологии формир вания углублений, и может быть иссуществляют следующим обНа стекло термиче испарением наносят п толщиной 1-2 мкм, на фотолитографии изгот бина проникноверолирчется с чо глубине появлен ки. После чего стекла в местах окраску, образе при 400-600 С в лаждают образец ия электронов конт 1574552туры со скоростью 8-10 град/мин, удаляют алюминиевый слой и травят образец в 307.-ном НР при 20-22 С, Изменяя форму и размер наносимых металлических пленок, можно регулироватьконфигурацию углублений (см.фиг.1),а изменяя величину прикладываемого,напряжения можно регулировать глубину углублений.Ниже приведены конкретные примеры осуществления способа.П р и м е р 1, В качестве подложки использовалось светочувствительное стекло С 83-1, содержащее,мас.%:810 74,2%А 1 8, 57.Ы,О 10;6%4, 27. 202 пО 2,5%и в качестве фоточувствительного элемента Ая 0 0,04%, сенсибилизатораЯЬО0,04%,На одну из сторон подложки из стек ла термическим вакуумным испарениемнаносилась пленка алюминия толщиной1,5-2 мкм, на которои с помощью фотолитографии изготовлялась системаполосок шириной 100 мкм, На противоположную сторону начосился слой алюминия такой же толщины. Далее образец нагревался до 400 С, а к электроодам прикладывалось напряжение величиной 48 В таким образом, что минус35приходился на систему полос, а плюсбыл на противоположной стороне. Под .действием приложенного поля образецнаходился в течение 1 ч. При этом глубина проникновения электронов контролировалась с помощью микроскопа смикрометром окулярным по глубине проникновения коллоидной окраски и составила 50 мкм. Для проведения кристаллизации стекла в местах, имеющихколлоидную окраску, образец прогревался в течение 2 ч прй 600 ОС,а после остывания до комнатной температуры со скоростью 8-10 град/минподвергался травлению 30%-ным раствором НР при 20-22 С, При этом скорость травления лежала в пределах 58 мкм/мин,В таблице представлены данные потравлению образца и воспроизводимости вытравливаемых углублений,1ГлубиПриВремя Разность мер на, мкм травления,мин междузаданнойи реальнойглубинойуглубления,мкм 8,5 9,5 9,5 9,5 9,5 9,5 1 51 2 51.3 50 4 51 5 50 6 50 1 1 0 1 0 0 Из таблицы видно, что воспроизводимость углублений; полученных по данному способу, в 3-4 раза выше, чем по известному способу.П р и м е р 2, Условия аналогичны примеру 1, напряжение, прикладываемое к электродам 25 В. Получены углубления величиной 46 мкм.П р и м е р 3, Условия аналогичны примеру 1, напряжение, .прикладываемое к электродам, 50 В. Получены углубления величиной 52 мкм.Применение данного способа по сравнению с известным обеспечивает увеличение выхода годных изДелий за счет увеличения воспроизводимости полученных углублений, расширение диапазона форм поперечного сечения углублений. Формула и з о б р е т е н и я Способ формирования в светочувствительном стекле углублений различной формы поперечного сечения, включающий термическую обработку и травление светочувствительного стекла, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и воспроизводимости изготовления углублений, на поверхность светочувствительного стекла предварительно наносят металлическую пленку с конфигурацией, соответствующей конфигурации формуемыхо углублений, нагревают стекло до 400 С и осуществляют инжекпию электронов в стекло под действием внешнего электрического поля, приложенного к металлической пленке.