Криогенная форвакуумная ловушка

(51) 5 Р 04 8, Р ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ ДЕТЕЛЬСТВ(54) КРИОГЕН (57) Изобрет и технике и дежность лону ной камеры (Д (К) 7, эакреп Изобретение от тся к вакуумн хнике енно к конструкциям о предназначенных емых объемов от стей вакуумных емых ловушекащиты откачи рабочих жид а.ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГННТ СССР АЯ ФОРВАКУУИНЛЯ ЛОВУШКАие отйосится к вакуум-,позволяет повысить ка-ки. Внутри дополнитель) 5 расположен клапаненный на стенке основной насосов.Цель изобретения - повышение надежности ловушки.На чертеже представлена схема ло- .вушки.Криогеиная форвакуумкая ловушка содержит сосуд 1 Дьюара, вертикальный вакуум-провод для прохода откачиваемого газа, выполненный в виде верхнего и нижнего соосных патрубков 2 и 3 и размещенной н сосуде 1 между патрубками 2 и 3 и герметично соединенной с ними основной камеры 4, и расположенную в последней с зазором дополнительнув камеру 5 с боковым окном 6 и соосным ему клапаном 7, з камеры (ОК) 4 при помощи сильфона (С)8. Полость С 8 заполнена газом и нней раэмеще резервуар (Р),9. На стенках Р 9 размещен адсорбент (А) 10 иполость Р 9 сообщена с полостью сосу"да 1 Дьюара. При охлаждении ОК 4 и Р9 охлаждается А 10 и давление внутриполости С 8 понижается. Это приводитк деформации С 8 и отводу К 7 от бокового окна (БО) 6 ДК 5. В этом положенин ломушка готова к работе. Приотогреве ловушки давление в полостиС 8 повышается, К 7 перекрывает БО 6,что надежно защищает попадание пароврабочих жидкостей вакуумных насосовв реципиент. 2 з.п.ф-лы, 1 ил.крепленным на боковой стенке основной камеры 4 при помощи сильфона 8 с гер метичнОЙ внутренней полостью, заполненной газом. Ловушка дополнительно содержит .расположенный н полости силь фона 8 резервуар 9, сообщенный с сосудом 1, а также адсорбент 10, расположенный в полости сильфона 8 иразмещенный на чаружной поверхности резервуара 9.Ловушка работает следующим образом.Герметичная внутренняя полость силь фона 8 заполняется газом до давления; достаточного для герметичного перекрытия клапаном 7 бокового окна 6 дополнительной камеры 5. В этом сос тоянии ловушка готова к работе.В рабочем режиме в сосуд 1 залива ется хладагент (жидкий азот), что обеспечивает охлаждение верхнего и нижнего патрубков 2 и 3 и основной1572 19 1 О Сг ста г и Р, рковкиРедактор В,Ф. мц:.:хр п,1 ц;си . ,В . Ги 230 П.аказ 1 ИИП иражрьтиям ири ГКНТ ССС 1 5 веге)мкя югириа Прои в и дополнительной камер 4 и 5, а так" же резервуара 9 и размещенного ца его поверхности адсорбента 10. Охлаждение резервуара 9 и адсорбента 10 приводит к понижению давления газа в5 полости сильфона 8. Под воздействием упругих сил сильфона 8 клапан 7 открывает окно 6, обеспечивая возможнОсть прохода откачиваемого газа ио вакууьЕроводу,При отеилении ловушки вследствиеиовьшения давления газа в полостисильфона 8 клапан 7 перекрывает окно 1б, разделяя вакуум 6 ровод на две эоныи предогвращая миграцию паров рабочейжидкости вакуумного насоса, сконденснровавшихся и зоне нижнего патрубка3 в зону верхнего иатрубка 2, т.е.в направлении реципиента.Таким образом, обеспечивается высокая надежность защиты реципиента от паров рабочих жидкостей вакуумцых насосов. Одновременно исключается попадание паров ноды в зону нижнего иатрубка, т.е. к вакуумному насосу. Формула изобретения1. Криогеццал форвакуумная ловушка,содержащая сосуд Дьюара, вертикальныйвакуум-провод для прохода откачиваемогогаза, выполненный в виде верхнего ннижнего соосных патрубков и размещенной в сосуде между патрубками и герметично соединенной с ними основнойкамеры, и расположенную в последнейс зазором дополнительную камеру с боковым окном и соосным ему клапаном,закрепленным на боковой стенке основной камеры при помощи сильфоца с герметичной внутренней полостью, заполненной газом, о т л и ч а ю щ а я с ятем, что, с целью повышения надежности, ловушка дополнительно содержитраспопожеццый н полости сильфонарезервуар, сообщенный с сосудом., Ловушка по и.1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что она дополнительносод.ржит адсорбецт, расположенный внцси ти сильфона.3, Ловушка ио и,2, о т л и ч а ю -щ а я с я тем, что адсорбент размещен ца наружной иоверхности резервуара,