Устройство для измерения перемещения объекта

(с,сс новленное на пути теля 8 излучения ка 3 ориентирован лению измеряемых нормаль к ее по правлениями расп аг, идущего на р третьего зеркала где сра - угол расп дифрагировавшегУстройство раб ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОВ ЕТЕНИЯМ И ОТНРЦТИЯМПРИ ГННТ СССР(71) Институт электроники АН БССР (72) В. К. Александров и В. Н. Ильин (53) 531.717.86.082 (088.8)(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТА(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений деталей приборов и узлов станков. Целью изобретения является повышение информативности за счет измерения перемещения объекта по Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений деталей приборов и узлов станков.Цель изобретения - повышение информативности за счет измерения перемещения объекта по двум координатам и повышение точности за счет уменьшения эффективного шага дифракционной решетки.На чертеже изображено устройство для измерения перемещения объекта.Устройство содержит лазер 1, уста новленные по ходу его излучения коллиматор 2 и дифракционную решетку 3, два зеркала 4, размещенные по ходу двух пучков а 1 и аг дифрагировавшего на решетке 3 излучения таким образом, что пути отраженных от зеркал 4 пучков а 1 и аг пересекаются, светосоединитель 5, установленный в месте пересечения этих пучков ас и аг, линзу 6, фотоэлемент 7, светоделитель 8, установленный между коллиматором 2 и дифракционной решеткой 3, и третье зеркало 9, уста 2двум координатам и повышение точности за счет уменьшения эффективного ша га дифракционной решетки. Излучение лазг ра проходит коллиматор и попадает на свегоделитель, который делит его на два пучка, Один из них сразу поступает на дифракционную решетку, а другой - после отражения от светоделителя и зеркала. Оба пучка дифрагируют на решетке, попадают на зеркала и, отразившись от них, соединяются и интерферируют на светосоединителе. Интерференционная картина проецируется линзой на фотоэлемент. При перемещении дифракционной решетки интерференционные полосы сканируются по фотоэлементу. Число просканированных полос пропорционал со перемещению. 1 ил. траженного от светодели., дифракционная решета под углом 45 к направперемещенийх и у так, что верхности образует с наространения излучения ас и ешетку 3 от лазераи9, углы 11 а = 45 - 1 срс 1, ространения гп-го порядка о на решетке 3 излучения. отает следующим образом. Излучение лазера 1 проходит коллиматор 2, а попадает на светоделитель 8, который делит излучение на пучки а и аг. Пучок ас, пройдя светоделитель 8, поступает на дифракционную решетку 3 под углом а 1. Туда же поступает под углом аг и пучок аг, отраженный по пути светоделителем 8 и третьим зеркалом 9. Оба пучка а 1 и аг дифрагируют на дифракционной решетке 3 и образуютспри этом пучки а 1 и аг, которые попадают на зеркала 4 и, отразившись от них, соединя1534298 Формула изобретения ель В. К , Верес 79 Сост ави ехред И кчснко Корректор Н. Король Подписное р С. Патр и:ева34 Редак Заказ ИПИ Гоира открытиям при ГКНТ СССРаб., д. 4/5жгород, ул. Гагарина.01 у ".арс гневного ком итста о изобретениям113035, Москва, Ж -3, Р, шская всно-издат.льскиЙ комбнна Патент,1 роиводс з1 отся и иптерферируют н а светосоединителе 5. Интерференционная картина проецируется линзой 6 на фотоэлемент 7. При перемещении дифракцнонной решетки 3 в направлении х или у интерференционные полосы сканируются по фотоэлементу 7. Число просканированных полос пропорционально перемещению дифракционной решетки 3 в направлении х или у,Устройство для измерения перемещения объекта, содержащее лазер, установленные по ходу его излучения коллиматор и дифракционную решетку, два зеркала, размещенные по ходу двух пучков дифрагировавшего на решетке излучения таким образом, что пути отраженных от зеркал пучков пересекаются, светосоединитель, установленный в месте пересечения этих пучков, линзу и фотоэлемент, отличающееся тем, что, с целью повышения информативности за счет измерения перемещений объекта по двум координатам и повышения точности, оно снабжено светоделителем, установленным между коллиматором и дифракционной решеткой, и третьим зеркалом, установленным на пути отраженного от светоделителя излучения, ди фракционная решетка ориентирована под углом 45 к направлению измеряемых перемещений так, что нормаль к ее поверхности образует с направлениями распространения излучения, идущего на решетку от л азера и третьего зеркала, углы 1 а= = 45 - 1 ср, где ср - угол распространения гп-го порядка дифрагировавшего на решетке излучения,