Способ измерения вакуума

(5 И 4 3 Н БР ИЯ ТЕЛЬСТВ лектлеко тоиоиног тока в на екорение ком поле усиление зарцчестор,ка, в ор ио и измерение ионно зуют ко.А.Аритрукисп коллект ес ножцт ног ение Спос опытным еацкц стройств1, аноддиафра6 анода уется при помо жацего два кат3, экран 4 ка маг дер цит Уге ольцевую ще цодз,ато цер р 7 импульсов, экран 8, ко вые гоаррованные пластины 10, ники 14 - 16 напряжений, усиди и регистрзтор 17. Ионизованные ронцым удзром частицы газа выт цц источель 13 зле кт(54) (57) гива яютсяого умеобра ются через цель 6 и уско вход 9 вторично-электрон теля, где ионный поток п в электронныц и усиливае 1 электронный поток соб лектором 12. 1 цл. 1 ножн ст ког выход ся ционно давлен рае СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСН ИХРЕСПУБЛИК УДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПЮТ СССР АВТОРСКОМУ(71) Институт электроники им.Уфона ц Специализированное коцторско-технологическое бюро спроизводством Института электим. У.А.Аристова(56) Фзцческцэцциклоцедцчесловарь, М 984, с. 63. ПОС 05 ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМАзобретение относится к прибороцю ц позволяет повысить точизмерений высокого и сверхвы - вакуума за счет снижении инерстц регистрации цестаццонарного ия. Для этого в способе цэмерекуумз, включаюеем цонизаццю гавторично-электронныи торым ц осуцествляют ка в цзмеряемоц ср ивРм .г 14 Ч ,1 а 1 ,;м .л1525515 Формула изобретения Составитель И.СумцовТехред А.Кравчук Корректор О,Кравцова Редактор Е. Копча Заказ 7212/35 ПодписноеВН)ОЕИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прц ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская цаб., л. 4/5 Тираж 789 Производстнснцз-издательский комбинат "Патент", г,Ужго)оп, ул. агзрцца,101 Изобретение относится к приборостроению и может быть использованодля измерения высокого и сверхвысокого вакуума.Целью изобретения является повьппение точности нзиерений за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления,На чертеже изображено устройстнодля реализации предлагаеиого способа.Устройство для реализации способасодержит два накаливаемых катода 1,анод 2, магнит 3, экран 4 катода,диафрагму анода 5 с кольцевой щелью 6анода, генератор 7 П-образного импульсного напряжения, экран 8 вторично-электронного умножителя целевоготипа кольцевой геометрии, вход 9 вторично-электронного умножнтеля, кольцевые гофрированные пластины 10 вторично-электронного умножителя, выход 11 умножителя, коллектор )2 электронов, внешний усилитель 13 тока,источник 14 напряжения накала, источники низкого 15 и высокого )6 напряжений, регистратор 17,Способ измерения вакуума Осуществляют следующим образом,Электроны, эмиттируеиые с накаленного катода 1, ускоряются анодом 2и движутся по спиральным траекториямв поле магнита 3 в пространстве междуэкранами 4 катода 1 через диафрагмыанода 5. Ионизованные электроннымударом частицы газа вытягиваются через кольцевую щель 6 анода и ускоряются на вход 9 вторично-электронногоумножителя, где ионный поток преобразуется с помощью вторичной электронной эмиссии в электронный поток. Усиленный на выходе 11 уиножителя электронный поток собирается коллекто-,ром 12, Экран 4 катода и анод 2 выполнены из мелкоструктурной сетки.Для повышения чувствительности может осуществляться модуляция путем подачизапирающего потенциала ца анод 2 отгенератора 7,5Движение электронов в ионизационном пространстве по спиральным траекториям ндоль осн анода предотвращаетоблучение электронами его боковой цилиндрической стенки, что ограничиваетпопадание потока мягкого рентгеновского излучения на вход вторично-электронного умножителя, а также препятствует Образованию заряженных и нейтральных частиц за счет электронностимулированной десорбции со стеноканода, Для медленных ионов газа коэффициент ионно-электронной эмиссии независит от энергии ионов и их массы,что Обеспечивает стабильность и точ 20 ность измеренийТаким образом, благодаря использованию в качестве коллектора ионоввторично-электронного умножителя достигается высокое быстродействие25 внутреннего усиления полезного сигнала в виде тока отдельных ионов, чтопозволяет с высокой точностью ре.истрировать величину нестационарногодавления в области нысокого и сверхВысокого Вакуума,Способ измерения вакуума, включающий ионизацию газа, ускорение ионногопотока в электрическом поле, сбор ионов на коллектор, усиление и измерение ионного тока, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точ ности измерений за счет сниженияинерционности регистрации цестационарного давления, в качестве коллектора используют вторичцо-электронныйумножитель, которым и Осуществляютусиление ионного тока в измеряемойсреде.