Интегральный преобразователь давления

Номер патента: 1520365

Авторы: Белозубов, Жучков, Павлов, Тельпов

ZIP архив

Текст

Изобретение относится к приборостроению и может быть использованодля измерения давления газообразныхсред.5Целью изобретения является упрощение конструкции,На чертеже представлен интегральный преобразователь давления.Интегральный преобразователь давления содержит тензорезисторы 1-4,включенные в мостовую схему 5,опорный резистор б,.делитель напряженияиз двух резисторови 8, управляемый источник 9 напряжения, дифференциальный интегратор 10, блок 11 деления.Преобразователь работает следующимобразом,Диагональ питания мостовой схемы 205 включена во вторую мостовую схему,образованную опорным резистором 6 ирезисторами 7 и 8. Измерительнаядиагональ второй мостовой схемы подключена к входам дифференциального 25интегратора 10. Рассогласование второго моста происходит при отклонениитемпературы тензорезисторов 1-4 отноминального значения за счет изменения сопротивления диагонали питаниямостовой схемы 5. Сигнал рассогласования через дифференциальный интегратор 10 поступает на вход управления источника 9 напряжения; Измене-,ние выходного напряжения управляемого источника 9 напряжения приводит35к изменению нагрева тензорезисторови температуры мембраны из монокристаллического полупроводникового мате"риала, на которой сформированы тенэорезисторы 1-4. При этом тензочувствительная мостовая схема, сформированная на мембране из монокристаллического полупроводникового материала,используется одновременно в качестве45тензочувствительного, термочувствительного и нагревательного элемента,Выходной сигнал снимается с измерительной диагонали мостовой схемы 5и делится на напряжение с диагоналипитания этой схемы в блоке 11 деленияПри этом в зоне воздействия изменяющейся температуры измеряемой среды могут находиться только тензорезисторы измерительной мостовой схемы 5, а остальные элементы 6-11 мо - гут быть расположены в зоне умеренного изменения температуры.Благодаря совмещению функций термочувствительных и нагревательных элементов в тензорезисторах 1-4 уменьшается количество элементов, сформированных на мембране монокристаллического полупроводника, и, тем самым, достигается упрощение конструкции интегрального преобразователя давления.Формула изобретенияИнтегральный преобразователь давления, содержащий мембрану из монокристаллического полупроводникового материала, выполнецную за одно целое с опорным основанием, и тензорезисторы, сформированные на мембране и соединенные в мостовую измерительную схему, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции, он снабжен управляемым источником напряжения, дифференциальным интегратором, блоком деления, опорным резистором и делителем напряжения из двух резисторов, причем первые входы блбка деления подключены к измерительной диагонали мостовой измерительной схемы, диагональ питания которой подключена к вторым входам блока деления и первому входу дифференциального интегратора, второй вход которого под. ключен к вьмоду делителя напряжения, выход дифференциального интегратора подключен к управляющему входу управляемого источника напряжения, выход которого подключен к входу делителя напряжения и через опорный резистор, к диагонали питания мостовой измерительной схемы, а выход блока деления является выходом интегральногб преобразователя давления.

Смотреть

Заявка

4224007, 17.02.1987

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891

ЖУЧКОВ АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ, БЕЛОЗУБОВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ТЕЛЬПОВ СЕРГЕЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ, ПАВЛОВ МИХАИЛ ИГОРЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, интегральный

Опубликовано: 07.11.1989

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1520365-integralnyjj-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интегральный преобразователь давления</a>

Похожие патенты